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1) 층상 구조 물질을 박리하여 층상 구조 물질 박리층의 현탁액을 제조하는 제1단계;2) 상기 제1단계에서 제조된 층상 구조 물질 박리층의 현탁액으로부터 연무를 형성시키는 제2단계;3) 상기 제2단계에서 형성된 연무 내의 액적을 1~10 m/s의 액적 속도로 가열된 기판으로 수송하는 제3단계; 및4) 상기 제3단계에서 수송된 연무 내의 층상 구조 물질 박리층이 기판 상에 증착되어 층상 구조 물질 박막을 형성하는 제4단계를 포함하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제1항에 있어서,상기 층상 구조 물질은 2차원 결정 구조를 가진 탄소계 물질 또는 점토계 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제2항에 있어서,상기 2차원 결정 구조를 가진 탄소계 물질은 그래핀, 산화 그래핀, 및 육방정 보론 나이트라이드(hexagonal boron nitride)로 이루어진 2차원 무기질 재료 군에서 선택되는 어느 하나 이상이고;상기 2차원 결정 구조를 가진 점토계 물질은 결정질 실리케이트(crystalline silicate), 칼코게나이드(chalcogenide), 전이금속 디칼코게나이드(TMD), 탈크(talc), 버미큘라이트(vermiculite), 및 몬모릴로나이트(montmorillonite)로 이루어진 2차원 무기질 재료 군에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제1항에 있어서,상기 층상 구조 물질 박리층의 현탁액을 제조하는 단계는 층상 구조 물질을 용매에 넣고 쉐어 믹서 및 초음파 분쇄기를 이용하여 분쇄 및 박리시킨 후, 원심분리기를 통해 무거운 입자는 가라앉히고 상위 10~50% 높이의 상청액을 취하는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제1항에 있어서,발생된 연무는 1~50 ㎛ 크기의 액적을 포함하는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제1항에 있어서,기판의 온도는 60~155 ℃인 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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제1항에 있어서,형성된 박막의 입자 크기는 1~999 nm인 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 방법
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소스 용액을 연무 발생부에 공급하기 위한 소스 용액 공급부;연무 발생기 및 상기 연무 발생기를 수용하는 연무 발생 용기를 포함하는 연무 발생부;상기 연무 발생 용기와 연결되고, 일단에 연무 출구를 형성하는 연무 통로 용기를 포함하는 연무 통로부;상기 연무 통로용기의 일 측에 형성된 팬(fan)과, 상기 팬에 연결되어 있고 표면에 다수의 구멍(hole)을 갖는 관을 포함하고, 상기 팬을 통해 외부 공기를 주입하여 상기 관의 표면에 형성된 다수의 구멍을 통해 외부 공기를 연무 출구 방향으로 공급하는 공기 주입부; 및상기 연무 출구 상에 일정 거리 이격되어 배치되고, 발생된 소스 용액의 연무를 증착시키는 기판, 상기 기판을 예열시키는 히터 및 히터의 온도를 조절하는 온도조절기를 포함하는 박막 증착부를 포함하는, 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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제8항에 있어서,상기 연무 발생기는 제트 분무기(Jet nebulizer), 노즐형 초음파 분무기(Nozzle type ultrasonic wave nebulizer) 또는 침지형 초음파 분무기(Dipping type ultrasonic wave nebulizer)인 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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소스 용액이 담겨있는 저장조 및 상기 소스 용액을 연무 발생부에 공급하기 위한 소스 용액 공급관을 포함하는 소스 용액 공급부;초음파 진동을 발생시키는 압전 진동자, 상기 압전 진동자를 고정시키는 고무 홀더, 상기 고무 홀더 및 연무 통로부를 연결시키는 압전 진동자 홀더 몸체 돌출부를 포함하는 연무 발생부;상기 압전 진동자 홀더 몸체 돌출부와 결합하고, 일단에 연무 출구를 형성하는 연무 통로용기를 포함하는 연무 통로부; 상기 연무 통로용기의 일 측에 형성된 팬(fan)과, 상기 팬에 연결되어 있고 표면에 다수의 구멍(hole)을 갖는 관을 포함하고, 상기 팬을 통해 외부 공기를 주입하여 상기 관의 표면에 형성된 다수의 구멍을 통해 외부 공기를 연무 출구 방향으로 공급하는 공기 주입부; 및상기 연무 출구 상에 일정 거리 이격되어 배치되고, 발생된 소스 용액의 연무를 증착시키는 기판, 상기 기판을 예열시키는 히터 및 히터의 온도를 조절하는 온도조절기를 포함하는 박막 증착부를 포함하는, 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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제10항에 있어서,상기 연무 발생부의 압전 진동자의 고무 홀더 일측면에는 소스 용액 주입부가 형성되고,상기 소스 용액 공급관은 소스 용액 저장조로부터 상기 소스 용액 주입부를 연결하도록 형성되고,상기 소스 용액은 상기 소스 용액 주입부를 통해 압전 진동자 상에 직접 공급되어, 소스 용액의 액면 높이를 압전 진동자가 온전히 잠긴 액면을 기준으로 3~7 mm로 유지시키는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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제10항에 있어서,상기 소스 용액 주입부를 통해 공급되는 소스 용액의 부피는 0
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제10항에 있어서,상기 장치는 소스 용액 공급관에 밸브를 구비하고, 연무 발생부에 소스 용액의 액면 높이 위치를 검출하는 액면 위치 센서를 더 포함하고, 상기 센서에 의해 밸브가 자동 개폐되어 소스 용액의 공급량을 조절하는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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제10항에 있어서,상기 압전 진동자는 0
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제8항 또는 제10항에 있어서,상기 공기 주입부는 외부 공기 속도를 조절하여 연무를 1~10 m/s의 액적 속도로 이동시키는 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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제8항 또는 제10항에 있어서,상기 박막 증착부에서 기판의 온도는 60~155 ℃인 것을 특징으로 하는 층상 구조 물질의 무화식 박막 증착 장치
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