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기판이 장착되며, 일측에서 타측으로 하방경사를 형성하도록 기울어져 경사진 상태로 배치되는 지그부;상기 지그부의 경사를 조절하며, 상기 지그부의 일측부를 고정하는 동작부;상기 지그부의 움직임에 대응하며, 상기 지그부의 타측부를 고정하는 고정부; 및상기 지그부의 일측부 상부에 구비되며, 상기 기판을 향해 도포제를 분사하는 노즐부;를 포함하는 대면적 기판 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 지그부는, 수평면 대비 기울어진 각도가 0
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제1항에 있어서,상기 기판은 상기 지그부에 진공 흡착되어 장착되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 동작부는,상하로 이동하며 상기 지그부 일측의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 장치
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제4항에 있어서,상기 동작부는,상기 지그부 일측부의 양 끝단에 각각 구비되며, 각각의 상기 동작부가 상호간에 교차하며 상하로 이동하여, 상기 지그부 일측의 양 끝단 높이를 가변하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 장치
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제5항에 있어서,상기 노즐부는,상기 지그부 일측부의 양 끝단을 왕복이동하며,상기 고정부 중 어느 한쪽이 상부로 이동했을 때 상기 노즐부가 대응되는 위치에 배치되도록 이동하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 장치
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제5항에 있어서,상기 고정부는,상기 지그부 타측부의 양 끝단에 각각 구비되며,상기 지그부 일측부의 양 끝단에 구비된 상기 동작부의 상하 이동과 대응되도록 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 장치
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기판이 일측에서 타측으로 하방경사지도록 지그에 장착되고, 상기 기판 일측부의 양 끝단이 상호간에 교차하며 상하로 이동하며 움직이는 대면적 기판 코팅 방법에 있어서,도포제를 준비하는 도포제 준비단계;상기 기판이 하방경사지게 장착되도록 기판 경사각도를 설정하는 각도설정단계;상기 기판을 상기 지그에 진공 흡착하여 장착하는 기판장착단계;상기 기판의 일측부를 향해 상기 도포제를 분사하는 도포제분사단계; 및상기 기판의 일측부의 양 끝단이 상호간에 교차하여 상하로 이동하도록 형성하는 기판동작단계; 를 포함하는 대면적 기판 코팅 방법
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제8항에 있어서,상기 각도설정단계에서,상기 경사각도는 수평면 대비 0
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제8항에 있어서,상기 도포제 분사단계에서,상기 도포제는 상기 기판 일측부의 양 끝단을 왕복이동하며 분사되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 방법
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제10항에 있어서,상기 기판동작단계에서,상기 기판 양 끝단 중 어느 한 단이 상부로 이동했을 때 상기 도포제가 대응되는 위치에서 분사되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판 코팅 방법
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