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제1 전극;상기 제1 전극과 이격된 제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하는 러버층 및 상기 러버층 내부에 위치하는 복수의 에어 버블(air bubble)들을 포함하는 탄성 유전체를 포함하며,상기 탄성 유전체는 프리폴리머(prepolymer)와 경화제(cure agent)와 용매(solvent)가 1:1:0
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제1항에서,상기 에어 버블들은 상기 러버층 내부에 밀폐된 압력 센서
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제1항에서,상기 에어 버블들의 내부에는 에어(air)만이 위치하는 압력 센서
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제1항에서,상기 에어 버블들 각각은 상기 러버층 내부에서 불규칙적으로 배치된 압력 센서
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제1항에서,상기 러버층은 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하며,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하는 상기 러버층의 표면들은 플랫(flat)한 압력 센서
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제1 전극과 제2 전극 사이에 위치하는 러버층; 및상기 러버층 내부에 위치하는 복수의 에어 버블들을 포함하며,프리폴리머(prepolymer)와 경화제(cure agent)와 용매(solvent)가 1:1:0
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제7항에서,상기 에어 버블들은 상기 러버층 내부에 밀폐된 탄성 유전체
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프리폴리머(prepolymer)와 경화제(cure agent)가 혼합된 제1 혼합물에 용매(solvent)를 혼합하여 상기 제1 혼합물 대비 점도가 낮은 제2 혼합물을 형성하는 단계;상기 제2 혼합물의 내부에 복수의 에어 버블들을 형성하는 단계; 및상기 에어 버블들이 내부에 형성된 제2 혼합물을 경화하는 단계를 포함하며,상기 제2 혼합물을 형성하는 단계는 상기 프리폴리머와 상기 경화제와 상기 용매를 1:1:0
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제9항에서,상기 제2 혼합물의 내부에 복수의 에어 버블들을 형성하는 단계는 거품 생성기를 이용해 수행하는 탄성 유전체의 제조 방법
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제9항에서,상기 에어 버블들이 내부에 형성된 제2 혼합물을 경화하는 단계는,상기 제2 혼합물을 몰드(mold)에 위치시키는 단계; 및상기 제2 혼합물을 가열하는 단계를 포함하는 탄성 유전체의 제조 방법
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제9항에서,상기 용매는 톨루엔(toluene)을 포함하는 탄성 유전체의 제조 방법
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