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테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법

  • 기술번호 : KST2020015078
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 일반 공기에 흡수되는 양을 정의하는 흡수 계수가 0에 가깝도록 만드는 테라헤르츠 신호의 주파수들을 획득하고, 이러한 주파수들로 이루어진 주파수 세트를 이용하여 샘플의 두께 및 굴절률을 측정하도록 구성되어 있기 때문에, 수분과 같은 극성 분자들이 존재하는 일반 공기 중에서도 샘플의 두께 및 굴절률의 동시 측정 및 정확한 측정이 가능하다.
Int. CL G01N 21/3586 (2014.01.01) G01B 11/06 (2006.01.01) G01N 21/41 (2006.01.01)
CPC G01N 21/3586(2013.01) G01N 21/3586(2013.01) G01N 21/3586(2013.01) G01N 21/3586(2013.01)
출원번호/일자 1020190065802 (2019.06.04)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2175532-0000 (2020.11.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20201106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.06.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수현 대전광역시 유성구
2 이진우 대전광역시 유성구
3 정유진 대전광역시 유성구
4 엄상우 대전광역시 유성구
5 서은교 대전광역시 유성구
6 전영민 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-0572046-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0065850-36
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
6 등록결정서
Decision to grant		 2020.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0532029-21
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번호 청구항
1 1
테라헤르츠 신호를 샘플이 존재하지 않는 기준 공기 중에 조사하여 제1 기준 신호를 획득하는 단계;테라헤르츠 신호를 상기 샘플이 존재하지 않는 일반 공기 중에 조사하여 제2 기준 신호를 획득하는 단계; 상기 제1 기준 신호와 상기 제2 기준 신호를 이용하여, 상기 일반 공기의 흡수 계수가 기 설정된 값보다 작은 값을 나타내도록 하는 적어도 하나 이상의 주파수의 집합인 주파수 세트를 획득하는 단계;상기 테라헤르츠 신호를 상기 일반 공기 중에 존재하는 샘플에 조사하여 샘플 신호를 획득하는 단계; 상기 제1 기준 신호와 상기 샘플 신호를 이용하여, 상기 주파수 세트에서의 상기 샘플 신호와 상기 제1 기준 신호 간 위상차를 획득하는 단계; 상기 주파수 세트 및 상기 위상차를 이용하여, 상기 샘플 신호에 포함된 2개의 펄스 신호들 각각에 대하여 상기 샘플의 두께에 따른 굴절률에 관한 관계식들을 획득하는 단계; 및 상기 샘플의 두께에 따른 굴절률에 관한 관계식들을 이용하여 상기 샘플의 두께 및 굴절률을 결정하는 단계;를 포함하는 테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 기준 신호를 획득하는 단계에서, 상기 제1 기준 신호는 건조 공기 또는 질소 분위기 중에서 획득되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 샘플의 두께에 따른 굴절률에 관한 관계식들을 획득하는 단계에서, 상기 2개의 펄스 신호들은, 상기 테라헤르츠 신호가 상기 샘플 내에서 반사 없이 투과하는 메인 신호와, 상기 테라헤르츠 신호가 상기 샘플 내에서 반사된 후 투과하는 에코 신호인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 샘플의 두께에 따른 굴절률에 관한 관계식들을 획득하는 단계에서, 상기 2개의 펄스 신호들은, 상기 테라헤르츠 신호가 상기 샘플 내에서 반사된 후 투과하는 에코 신호들인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 샘플의 두께 및 굴절률을 결정하는 단계에서는, 상기 관계식들 간 차이의 제곱을 주파수 세트를 구성하는 모든 주파수에 대하여 합산한 결과가 최소일 때의 두께를 상기 샘플의 두께로 결정하고, 상기 최소일 때의 두께에 따른 굴절률을 상기 샘플의 굴절률로 결정하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 시간 영역 분광을 이용한 샘플의 두께 및 굴절률 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술원 거대과학연구개발사업 (EZBARO)광섬유 기반 테라헤르츠 분광분석 원결 시료 채취 장치 개발(2018)