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베이스플레이트;상기 베이스플레이트에 제1 방향으로 이격되게 배치되며, 상기 베이스플레이트의 반대방향을 향하는 기준평면을 구비하는 이동플레이트; 및상기 베이스플레이트와 상기 이동플레이트를 연결하며, 상기 기준평면의 중심을 기준으로 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 구비되고 상기 기준평면에 가해지는 가압력에 의하여 각각 독립적으로 탄성 변형되면서 상기 이동플레이트의 경사를 조절하는 복수의 링크부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제1항에 있어서,상기 링크부는,상기 베이스플레이트에 결합되며 상기 기준평면에 가해지는 가압력에 의하여 상기 제1 방향으로 탄성 변형되는 탄성링크부; 및상기 탄성링크부와 상기 이동플레이트를 연결하되, 상기 탄성링크부와는 회전조인트 결합되며, 상기 이동플레이트와는 구조인트 결합되는 링크부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제2항에 있어서,상기 회전조인트와 상기 구조인트를 연결하는 상기 링크부재의 연장선은 상기 기준평면의 중심을 통과하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제2항에 있어서,상기 탄성링크부는 상기 원주방향을 따라 이격되게 배치되는 한 쌍의 탄성링크부로 구성되며,상기 한 쌍의 탄성링크부는 상기 링크부재에 독립적으로 회전조인트 결합되는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제2항에 있어서,상기 탄성링크부는,상기 베이스플레이트 결합되는 제1 블록;상기 제1 블록에 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격되게 배치되며, 상기 링크부재와 회전조인트 결합되는 제2 블록; 및상기 제1 블록와 상기 제2 블록을 연결하되, 상기 제2 방향으로 연장 형성되는 판 형상의 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제5항에 있어서,상기 탄성부재는 상기 제1 방향으로 미리 정해진 간격을 가지도록 복수개가 배치되는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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제5항에 있어서,상기 탄성부재는 상기 제1 블록 및 상기 제2 블록에 연결되는 단부 측으로 갈수록 두꺼운 두께를 가지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 임프린팅용 헤드
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웨이퍼가 탑재되는 스테이지;스탬프가 장착되는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 임프린팅 헤드; 및상기 베이스플레이트를 상기 제1 방향으로 가압하는 구동부;를 포함하며,상기 웨이퍼에 상기 스탬프가 접촉될 시 상기 웨이퍼 및 상기 스탬프가 평행되도록 상기 스탬프의 경사가 조절되면서 상기 웨이퍼에 상기 스탬프가 균일한 압력으로 접촉되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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제8항에 있어서,상기 베이스플레이트와 상기 구동부를 연결하는 구동플랫폼; 및상기 구동플랫폼과 상기 베이스플레이트 사이에 배치되며, 상기 구동플랫폼에서 상기 베이스플레이트 측으로 전달되는 압력을 감지하는 하중감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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제9항에 있어서,상기 하중감지센서는 상기 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 복수개로 구비되되, 상기 링크부와 중첩되지 않도록 상기 링크부의 사이 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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제8항에 있어서,상기 이동플레이트에 결합되어 상기 이동플레이트와 연동하며, 상기 스탬프가 장착되는 이동플랫폼;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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