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1
제1 방향에 수직한 평면 상에 배열된 복수의 픽셀들을 포함하는 광변조층;상기 픽셀들과 일대일로 대응되는 제1 렌즈들을 포함하는 제1 렌즈 어레이;상기 제1 렌즈들과 일대일로 대응되는 제2 렌즈들을 포함하는 제2 렌즈 어레이; 및상기 제1 렌즈 어레이와 상기 제2 렌즈 어레이 사이의 스페이서층을 포함하되,상기 제1 렌즈들 각각은 상기 제1 방향으로 연장되는 제1 중심축을 갖되,상기 제1 렌즈들의 상기 제1 중심축들은 상기 픽셀들마다 서로 다른 위치들에서 만나는 공간 광변조 소자
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2
제 1 항에 있어서,상기 제2 렌즈들 각각은 상기 제2 렌즈들의 중심을 지나며 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심축을 갖고,상기 제1 렌즈들의 상기 제1 중심축들은 각각 대응되는 제 2렌즈들의 상기 제2 중심축들과 일치하는 공간 광변조 소자
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3
제 1 항에 있어서,상기 제1 렌즈들은 제1 초점거리를 갖고,상기 제2 렌즈들은 제2 초점거리를 갖되,상기 제1 초점거리는 상기 제2 초점거리보다 큰 공간 광변조 소자
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4
제 3 항에 있어서,상기 스페이서층의 상기 제1 방향으로의 두께는 상기 제1 초점거리와 상기 제2 초점거리의 합과 같은 공간 광변조 소자
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5
제 1 항에 있어서,상기 제1 렌즈들의 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 가장 긴 길이는 상기 제2 렌즈들의 상기 제2 방향으로 가장 긴 길이보다 큰 공간 광변조 소자
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6
제 1 항에 있어서,상기 제2 렌즈 어레이 상의 핀홀 어레이를 더 포함하는 공간 광변조 소자
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7
제 6 항에 있어서,상기 핀홀 어레이는 상기 제2 렌즈들과 일대일로 대응되는 복수의 핀홀들을 포함하고,상기 핀홀들의 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로의 폭은 상기 제2 렌즈들의 상기 제2 방향으로 가장 긴 길이보다 작은 공간 광변조 소자
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8
제 1 항에 있어서,상기 제2 렌즈들 각각은 상기 제2 렌즈들의 중심을 지나며 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심축을 갖고,상기 제1 렌즈들의 상기 제1 중심축들은 각각 대응되는 제 2렌즈들의 상기 제2 중심축들과 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이격되는 공간 광변조 소자
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9
제 8 항에 있어서,상기 제2 렌즈 어레이 상의 핀홀 어레이를 더 포함하되,상기 핀홀 어레이는 상기 제2 렌즈들과 일대일로 대응되는 복수의 핀홀들을 포함하는 공간 광변조 소자
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10
제 1 항에 있어서,상기 제1 렌즈들 및 상기 제2 렌즈들은 메타 렌즈 및 프레넬 렌즈 중 어느 하나인 공간 광변조 소자
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11
입력빔이 조사되는 광변조층;상기 입력빔을 굴절시켜 투과빔을 방출하는 제1 렌즈 어레이 및 제2 렌즈 어레이; 및상기 제1 렌즈 어레이와 상기 제2 렌즈 어레이 사이의 스페이서층을 포함하되,상기 제1 렌즈 어레이는 제1 렌즈들을 포함하고,상기 제2 렌즈 어레이는 상기 제1 렌즈들과 일대일로 대응되는 제2 렌즈들을 포함하고,상기 제1 렌즈들 각각은 상기 광변조층의 상면과 수직한 방향으로 연장되는 제1 중심축을 갖되,상기 제1 중심축들은 서로 이격되고,상기 제1 중심축들 사이의 이격 거리는 각각 다른 공간 광변조 소자
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12
제 11 항에 있어서,상기 광변조층은 복수의 픽셀들을 포함하고,상기 제1 렌즈들은 상기 픽셀들과 일대일로 대응되는 공간 광변조 소자
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13
제 11 항에 있어서,상기 제2 렌즈들은 대응되는 상기 제1 렌즈들과 상기 입력빔이 조사되는 방향으로 중첩되는 공간 광변조 소자
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14
제 11 항에 있어서,상기 입력빔 및 상기 투과빔에서 진행 방향에 수직한 단면의 넓이는 상기 입력빔이 상기 투과빔보다 큰 공간 광변조 소자
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15
제 11 항에 있어서,상기 제1 렌즈 어레이와 상기 제2 렌즈 어레이는 상기 입력빔의 진행 방향으로 이격되는 공간 광변조 소자
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16
제 11 항에 있어서,상기 투과빔의 일부를 차단하여 빔의 크기를 제한하는 핀홀 어레이를 더 포함하는 공간 광변조 소자
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17
제 11 항에 있어서,상기 제1 렌즈들은 제1 초점거리를 갖고,상기 제2 렌즈들은 제2 초점거리를 갖되,상기 제1 초점거리는 상기 제2 초점거리보다 큰 공간 광변조 소자
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18
제 11 항에 있어서,상기 제1 렌즈들 및 상기 제2 렌즈들은 메타 렌즈 및 프레넬 렌즈 중 어느 하나인 공간 광변조 소자
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