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원자층 증착 공정을 따라 소정의 경로를 형성하며 연장되는 레일부; 상기 레일부 상에서 각각이 독립적으로 이송되는 복수의 이송유닛들; 상기 이송유닛들 상에 각각 실장되어 이송되는 복수의 기판부들; 및상기 레일부를 따라 서로 다른 위치에 고정되며, 하부에 위치하는 기판부들 각각에 원자층을 증착하는 복수의 증착유닛들을 포함하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 레일부는, 직선부 또는 곡선부를 포함하여 폐루프(closed-loop) 또는 일부가 개방된 루프(open loop)의 경로를 형성하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제2항에 있어서, 상기 레일부에 인접하도록 위치하여, 상기 레일부를 따라 이송되는 이송유닛들 각각으로 상기 기판부를 공급하는 공급유닛; 및상기 레일부에 인접하도록 위치하여, 상기 레일부를 따라 이송되며 원자층 증착 공정이 수행된 상기 기판부를 회수하는 회수유닛을 더 포함하는 원자층 증착 시스템
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제3항에 있어서, 상기 레일부, 상기 공급유닛 및 상기 회수유닛 중 어느 하나에 연결되어, 상기 기판부에 대한 추가 처리공정을 수행하는 추가처리 유닛을 더 포함하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 증착유닛은, 하부에 위치하는 상기 기판부에 반응물질을 공급하는 분사유닛; 및상기 분사유닛을 커버하며, 상기 분사유닛과의 사이에서 상기 기판부로 공급된 반응물질을 회수하는 회수공간을 형성하는 증착챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제5항에 있어서, 상기 증착유닛을 통해 반응물질이 상기 기판부에 공급 및 회수되는 경우, 상기 기판부를 실장한 상기 이송유닛은 정지한 상태로 위치하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 기판부들 각각에서 수행되는 원자층 증착 상태를 고려하여, 상기 이송유닛들 각각이 독립적으로 이송되도록 제어하는 제어부를 더 포함하는 원자층 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 레일부는, 서로 마주하는 상벽부 및 하벽부; 상기 상벽부 및 상기 하벽부를 연결하며 중앙에 측부 공간을 형성하는 내측부; 및상기 측부 공간 상에 반복적으로 실장되어 고정자로 형성되는 코일모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제8항에 있어서, 상기 이송유닛은, 상기 상벽부에 마주하며, 상면에는 상기 기판부가 실장되는 베이스부; 상기 하벽부에 마주하는 저면부; 및상기 베이스부와 상기 저면부를 연결하며, 상기 고정자인 코일모듈에 마주하는 이동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제9항에 있어서, 상기 코일모듈은, 상기 내측부 상에 고정되는 코일요크; 및상기 코일요크에 감기는 코일을 포함하며, 상기 코일에 인가되는 3상 교류전류에 의해 3상 전환되어 상기 코일요크에 자기장이 형성되거나 소멸되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제10항에 있어서, 상기 이동자는, 상기 이동자 상에 고정되는 자석요크; 및상기 자석요크 상에 실장되며, 상기 코일요크에 형성되거나 소멸되는 자기장과 상호작용하여 상기 이동자를 이동시키는 추력자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제11항에 있어서, 상기 코일모듈은 상기 레일부의 연장방향을 따라 3개가 단위 코일모듈을 형성하고, 상기 추력자석은 상기 단위 코일모듈에 대하여 2개가 배치되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제11항에 있어서, 상기 레일부는, 상기 코일모듈을 향하도록 상기 하벽부를 따라 연장되며, 상기 코일모듈의 상 전환을 제어하도록 상기 추력자석에 대응하는 자기장으로 동작하는 홀센서를 포함하는 스위칭 보드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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제11항에 있어서, 상기 레일부는, 상기 하벽부를 따라 연장되는 측정보드를 더 포함하고, 상기 이송유닛은, 상기 측정보드와 마주하도록 상기 이동자 상에 고정되어, 상기 측정보드와 함께 상기 이동자의 위치를 측정하는 측정자석을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 시스템
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