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마이크로웨이브 공기 플라즈마를 이용한 탄화규소 게이트 산화막 열처리 장치

  • 기술번호 : KST2021001911
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 SiC 기판 상에 질화 처리된 산화막을 형성하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 공기 플라즈마로부터 NOx 가스를 포함하는 가스상을 발생시키는 단계; 상기 NOx 가스상을 SiC 기판으로 유도하는 단계; 및 상기 NOx 가스상과 SiC 기판을 반응하여 상기 기판 표면에 질화 처리된 산화막을 형성하는 단계를 포함하는 SiC 기판 처리 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/8234 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02274(2013.01) H01L 21/02167(2013.01) H01L 21/02315(2013.01) H01L 21/02554(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/0254(2013.01) H01L 21/823462(2013.01)
출원번호/일자 1020190112453 (2019.09.10)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0030811 (2021.03.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문정현 경상남도 김해시 율하*로 **, *
2 정순신 경상남도 김해시 율하*로 ***, *
3 곽지혜 부산광역시 연제구
4 방욱 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-0933669-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공기 플라즈마로부터 NOx 가스를 포함하는 가스상을 발생시키는 단계; 상기 NOx 가스상을 SiC 기판으로 유도하는 단계; 및 상기 NOx 가스상과 SiC 기판을 반응하여 상기 기판 표면에 질화 처리된 산화막을 형성하는 단계를 포함하는 SiC 기판 처리 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 NOx 가스상 발생단계는 480 torr 이상의 공정 압력에서 수행되는 것을 특징으로 하는 SiC 기판 처리 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 NOx 가스상 발생단계는 600 torr 이상의 공정 압력에서 수행되는 것을 특징으로 하는 SiC 기판 상의 산화막 형성 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 산화막 형성 단계는 1000 ℃ 이상의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 SiC 기판 처리 방법
5 5
공기로부터 NOx 가스상을 생성하는 공기 플라즈마 발생기; 및상기 공기 플라즈마 발생기에 결합되어, 상기 공기 플라즈마 발생기로부터의 NOx 가스상을 공급받아 SiC 기판을 산화시키는 반응로를 포함하는 SiC 기판 처리 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 에너지변환 저장 소재 및 소자기술 개발 스마트 전자기파 선택가열 핵심기술 개발