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와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2021002455
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 와이어의 표면에 미세 패턴을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 방법은 와이어에 나노입자 용액을 도포하여 상기 와이어의 표면에 나노입자 용액층을 형성하는 단계 및 상기 나노입자 용액층에 레이저를 조사하여 나노입자의 소결을 유도함으로써 상기 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 수십 내지 수백 마이크로 스케일의 직경을 갖는 미세 와이어의 표면에 수 마이크로 내지 수십 마이크로 수준의 미세 전극 패턴을 형성하는 것이 가능하다. 또한, 긴 초점 심도를 갖는 레이저 광학계를 이용하기 때문에 레이저의 초점을 미세하게 조절하지 않고도 간단하고 빠른 공정으로 곡률을 갖는 와이어의 표면에 미세 패턴을 균일한 두께로 형성할 수 있다.
Int. CL B23K 26/359 (2014.01.01) B23K 26/364 (2014.01.01) B23K 26/16 (2014.01.01)
CPC B23K 26/359(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/16(2013.01)
출원번호/일자 1020200076900 (2020.06.24)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2181868-0000 (2020.11.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20201123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.06.24)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강봉철 서울특별시 서대문구
2 임시형 서울특별시 서초구
3 강지운 제주특별자치도 제주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 해움특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***, *층(논현동, 구산빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2020-0648822-17
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2020.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-0844471-26
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2020.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2020.08.26 수리 (Accepted) 9-1-2020-0026915-96
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0605338-14
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1155040-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-1155041-69
8 등록결정서
Decision to grant
2020.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0790465-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
와이어에 나노입자 용액을 도포하여 상기 와이어의 표면에 나노입자 용액층을 형성하는 단계; 및상기 나노입자 용액층에 베셀 빔(bessel beam) 레이저를 조사하여 나노입자의 소결을 유도함으로써 상기 와이어 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 와이어의 직경이 1㎛ 이상인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 나노입자 용액층 형성 단계 이전에,와이어의 양 말단을 고정하는 단계를 더 포함하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 나노입자 용액층 형성 단계 이후에,와이어의 양 말단을 고정하는 단계를 더 포함하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계 이후,상기 와이어의 미세 패턴이 형성되지 않은 영역이 베셀 빔 레이저의 초점 위치하도록 상기 와이어를 회전시키는 단계; 및상기 나노입자 용액층에 베셀 빔(bessel beam) 레이저를 조사하여 나노입자의 소결을 유도함으로써 상기 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 단계 이후,잔류한 나노입자 용액을 제거하는 단계를 더 포함하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
6 6
제 2 항에 있어서,상기 나노입자 용액의 도포가 딥 코팅(dip coating)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
7 7
제 3 항에 있어서,상기 나노입자 용액의 도포가 스프레이 코팅(spray coating) 또는 잉크젯 코팅(inkjet coating)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 와이어의 직경이 1㎛ 내지 10mm인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 나노입자 용액의 나노입자의 함량이 5 내지 35중량%인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 나노입자 용액의 점도가 10 내지 200cP인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
11 11
제 1 항에 있어서,상기 나노입자가 구리(Cu), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag), 코발트(Co), 철(Fe), 파라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 아연(Zn) 및 실리카로 구성된 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 나노입자 용액이 나노입자를 증류수, 탈이온수, 이소프로판올(isopropanol), 에탄올(ethanol), 메탄올(methanol), 부탄올(butanol), 프로판올(propanol), 글리콜에테르(glycol ether), 아세톤(acetone), 톨루엔(toluene), 디클로로메탄(Dichloromethane), 테트라하이드로퓨란(Tetrahydrofuran, THF) 및 디메틸포름아미드(dimethyformamide)로 구성된 군에서 선택된 1종 이상의 용매에 분산 또는 용해시킨 것임을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
13 13
제 1 항에 있어서,상기 와이어의 표면에 상기 나노입자 용액층을 10nm 내지 1mm의 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
14 14
제 1 항에 있어서,상기 와이어의 위치가 고정된 상태에서, 베셀 빔 레이저의 초점을 이동하여 상기 나노입자 용액층의 미리 예정된 영역에 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
15 15
제 1 항에 있어서,상기 베셀 빔 레이저의 초점 위치가 고정된 상태에서, 와이어의 위치를 이동하여 상기 나노입자 용액층의 미리 예정된 영역에 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
16 16
제 1 항에 있어서,상기 레이저의 출력이 1 내지 10W인 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 와이어를 고정하는 단계는, 와이어에 일정한 장력이 유지되도록 양 말단을 잡아당기는 것을 특징으로 하는, 와이어의 표면에 미세 패턴을 형성하는 방법
18 18
제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되고, 표면에 미세 패턴이 형성된 와이어
19 19
제 18 항에 따른 와이어를 포함하는 센서(sensor)
20 20
제 19 항에 있어서,상기 센서가 체내 삽입용 유량 센서 또는 온도 센서인 것을 특징으로 하는, 센서
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 삼성서울병원 인공지능바이오로봇의료융합기술개발(R&D)(산업부) 급성심근경색의 진단 및 치료의 테라노스틱스를 위한 인체 삽입형 초소형 복합센서 장착 스마트와이어 시스템의 원천기술 개발
2 과학기술정보통신부 국민대학교 개인기초연구(과기정통부)(R&D) 천연 실리콘 소자의 레이저 기반 친환경 상향식 제조 플랫폼 개발