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박막 증착장치로서,박막을 형성하기 위한 내부 공간을 제공하는 반응 챔버를 포함하며,상기 반응 챔버와 연결되도록 개구부가 상기 박막 증착장치에 형성되고,상기 개구부는 광이 투과가능한 윈도우(window)에 의해 폐쇄되는, 박막 증착장치
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제1항에 있어서,상기 박막 증착장치는 원자층 단위의 박막을 형성하기 위한 증착장치인, 박막 증착장치
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제2항에 있어서,상기 박막은 금속산화물을 포함하는, 박막 증착장치
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제1항에 있어서,상기 반응 챔버의 내부 공간에 광을 반사가능한 기판이 배치된, 박막 증착장치
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제4항에 있어서,상기 기판은 금이 코팅된, 박막 증착장치
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제1항에 있어서,상기 광은 적외선 파장에 속하는 전자기파를 포함하는, 박막 증착장치
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분석장치와 결합된 박막 증착장치로서,박막을 형성하기 위한 내부 공간을 제공하는 반응 챔버;광을 방사하는 광원부;상기 광원부에서 방사된 광을 상기 반응 챔버의 내부 공간으로 반사하는 반사경; 및상기 반응 챔버의 내부 공간에서 반사된 광을 측정하는 검출부를 포함하며, 상기 반응 챔버와 연결되도록 개구부가 상기 박막 증착장치에 형성되고,상기 개구부는 광이 투과가능한 윈도우(window)에 의해 폐쇄되는, 박막 증착장치
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제7항에 있어서,상기 광은 적외선 파장에 속하는 전자기파를 포함하는, 박막 증착장치
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제8항에 있어서,상기 검출부는 상기 광원부에서 방사된 적외선과 상기 검출부에서 검출한 적외선을 비교하여, 상기 반응 챔버의 내부 공간에 배치된 박막의 적외선 흡수량을 측정하는, 박막 증착장치
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제9항에 있어서,상기 검출부는 in-situ FTIR(in-situ Fourier Transform Infrared Spectroscopy) 분석을 이용하는, 박막 증착장치
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