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웨이퍼가 안착되는 척 조립체 및 상기 웨이퍼를 검사하기 위해 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체를 정렬 및 결합시키기 위한 멀티프로버 시스템용 얼라이너로서,프레임부;상기 프레임부 내측에 설치되고, 상기 웨이퍼와 상기 탐침을 정렬시키도록 하는 얼라인척; 상기 얼라인척이 내부에 위치하고 상기 얼라인척을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 테두리부; 및상기 테두리부 하부에 위치하고, 상기 얼라인척과 상기 테두리부에 결합되어 상기 테두리부를 상기 얼라인척을 기준으로 회전시키는 락킹부를 포함하고, 상기 테두리부의 일면에 핀 형상으로 돌출되는 제1 위치결정부 및 상기 척 조립체의 일면에 상기 제1 위치결정부와 대응되는 홀 또는 홈으로 형성되어 상기 제1 위치결정부가 삽입되는 제1 위치대응부가 형성되며,상기 락킹부는,상기 얼라인척에 고정되는 내부몸체;상기 테두리부와 결합되어 상기 테두리부와 동시에 회전 가능하도록 형성되고, 외주면에 길이방향을 따라 락킹홈이 형성되는 외부몸체; 내륜에 상기 내부몸체가 결합되고 외륜에 상기 외부몸체가 결합되어, 상기 내부몸체와 상기 외부몸체의 상대 회전을 지지하는 회전베어링;상기 락킹홈에 삽입되어 상기 외부몸체의 외주면을 감싸도록 형성되는 락킹벨트, 상기 프레임부에 고정되고 지면과 수직하게 형성되는 회전축에 상기 락킹벨트 일측이 연결되며, 상기 회전축을 통해 상기 락킹벨트를 회전시켜 상기 외부몸체 및 상기 테두리부에 회전력을 가하는 락킹모터 및 상기 테두리부의 회전각도를 검출하는 락킹검출부재를 갖는 락킹구동부를 포함하고,상기 락킹구동부는, 상기 락킹검출부재가 산출하는 회전각도를 기반으로 상기 테두리부를 소정각도로 회전시키며,상기 테두리부는 소정각도로 회전됨에 따라 상기 제1 위치결정부 및 상기 제1 위치대응부의 위치가 정렬되어 상기 테두리부 및 상기 척 조립체와 상호결합되고, 상기 락킹구동부에 의해 상기 테두리부 및 상기 척 조립체를 회전시켜 상기 척 조립체 및 상기 프로브 카드 조립체를 상호 체결 또는 분리시키는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 외부몸체의 외주면에는 상기 락킹검출부재가 상기 외부몸체의 회전각도를 산출할 수 있도록 스케일 테이프가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 얼라인척 일측에 위치하여 상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체의 위치를 촬영하는 촬영부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제8 항에 있어서,상기 촬영부는 제1 촬영부 및 제2 촬영부를 포함하고,상기 제1 촬영부는 상기 탐침의 위치를 검출하도록 형성되고, 상기 제2 촬영부는 상기 척 조립체의 위치를 검출하도록 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제9 항에 있어서,상기 제2 촬영부는 상기 얼라이너와 이격되도록 배치되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 척 조립체의 일면에 형성되는 제2 위치결정부 및상기 얼라인척은 일면에 상기 제2 위치결정부의 위치와 일치되도록 배치되고, 상기 제2 위치결정부와 대응되게 형성되는 제2 위치대응부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제11 항에 있어서,상기 제2 위치결정부는 상기 척 조립체의 일면에 돌출 형성되는 핀 형상으로 형성되고, 상기 제2 위치대응부는 상기 제2 위치결정부와 대응되게 홀 또는 홈 형상으로 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 얼라인척의 중심부에 상기 척 조립체로부터 전기신호를 수신하기 위해 형성되는 커넥터를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제15 항에 있어서,상기 얼라인척은 중심부에 중공홀이 형성되고, 상기 락킹부는 중심부에 중공부가 형성되되, 상기 중공홀과 상기 중공부는 상기 커넥터와 연결되는 전기배선이 결합되도록 동심축 상에 위치하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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웨이퍼를 검사하기 위한 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체;상기 웨이퍼를 지지하는 척 조립체 및상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체를 정렬시킨 후 상기 프로브 카드 조립체 및 척 조립체를 결합시키는 제1 항, 제7 항 내지 제12항, 제15 항 및 제16 항 중 어느 한 항에 따른 얼라이너를 포함하는 멀티프로버 시스템
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