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이격된 강자성체 결정입계 사이에 상자성체 물질을 포함하는 자성재료 박막층이 형성된 기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2021005607
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이격된 강자성체 결정입계 사이에 상자성체 물질을 포함하는 자성재료 박막층이 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 상부에 금속산화물 완충층이 형성된 기판; 및 상기 완충층의 상부에 형성되는 자성재료 박막층을 포함하고, 상기 자성재료 박막층은, 상기 완충층 상에 강자성체 물질이 증착되어 형성되되, 상기 금속산화물 완충층에서 생성된 금속수산화물이 제거되면서 상기 강자성체 물질의 결정입자간 이격되게 결정입계가 형성되는 강자성층과, 상기 강자성층의 상부에 상자성체 물질이 증착되되, 상기 이격되게 형성된 강자성층 결정입계 사이에 확산침투되어 형성되는 상자성층을 포함하여 이루어져, 이격된 강자성체 결정입계 사이에 상자성체 물질을 포함하는 자성재료 박막층이 형성된 기판을 개시한다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01) H01L 43/12 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 43/10(2013.01) H01L 43/12(2013.01) H01L 21/02172(2013.01) H01L 21/02227(2013.01) H01L 21/02269(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020190142036 (2019.11.07)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0055503 (2021.05.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호섭 경상남도 김해시 번화*로 ***, *
2 오상수 경상남도 김해시 율하*로 **,
3 조정현 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1145321-45
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
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번호 청구항
1 1
상부에 금속산화물 완충층이 형성된 기판; 및상기 완충층의 상부에 형성되는 자성재료 박막층을 포함하고,상기 자성재료 박막층은, 상기 완충층 상에 강자성체 물질이 증착되어 형성되되, 상기 금속산화물 완충층에서 생성된 금속수산화물이 제거되면서 상기 강자성 물질의 결정입자간 이격되게 결정입계가 형성되는 강자성 층과, 상기 강자성층의 상부에 상자성체 물질이 증착되되, 상기 이격되게 형성된 강자성층 결정입계 사이에 확산침투되어 형성되는 상자성층을 포함하여 이루어져,이격된 강자성체 결정입계 사이에 상자성체 물질을 포함하는 자성재료 박막층이 형성된 기판
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 금속산화물은 MgO 인 것을 특징으로 하는, 자성재료 박막층이 형성된 기판
3 3
제 1 항에 있어서,상기 강자성체 물질은 Fe, Fe 합금 또는 Fe계 화합물인 것을 특징으로 하는, 자성재료 박막층이 형성된 기판
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 금속기판, Al2O3층, Y2O3층 및 MgO층이 순차적으로 형성되어 이루어지는 IBAD 기판인 것을 특징으로 하는, 자성재료 박막층이 형성된 기판
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 장선의 테이프 형상인 것을 특징으로 하는, 자성재료 박막층이 형성된 기판
6 6
제 1 항에 있어서,상기 상자성체 물질은 Cu, SmCu, Zn 또는 La/Cu 중에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 자성재료 박막층이 형성된 기판
7 7
(a) 상부에 금속산화물 완충층이 형성되는 기판을 준비하는 단계; 및 (b) 상기 완충층의 상부에 자성재료 박막층을 형성되는 단계를 포함하고,상기 자성재료 박막층은, (b-1) 상기 완충층 상에 강자성체 물질을 증착시켜 형성하되, 상기 금속산화물 완충층에서 생성된 금속수산화물이 제거되면서 상기 강자성체 물질의 결정입자간 이격되게 결정입계가 형성되는, 강자성층 증착 단계와, (b-2) 상기 강자성층의 상부에 상자성체 물질이 증착시켜 형성하되, 상기 이격되게 형성된 강자성층 결정입계 사이에 확산침투되어 형성되는 것을 포함하는, 상자성층 증착 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는
8 8
제 6 항에 있어서,상기 (b-1)단계는, 상기 완충층 상에 강자성체 물질을 열증착시켜 형성하되, 증착시 열처리 온도 증가에 따라 강자성체 물질의 결정입자 크기 및 결정입계 간격을 제어하는 것을 특징으로 하는, 이격된 강자성체 결정입계 사이에 상자성체 물질을 포함하는 자성재료 박막층이 형성된 기판의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 미래소재디스커버리사업 High-throughput 법을 이용한 신자성소재 개발