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웨이퍼가 안착되는 척 조립체 및 상기 웨이퍼를 검사하기 위해 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체를 정렬 및 결합시키기 위한 멀티프로버 시스템용 얼라이너로서,상기 웨이퍼와 상기 탐침을 정렬시키도록 하는 얼라인척 및 상기 얼라인척에 연결되어 상기 얼라인척을 승하강시키도록 형성되는 수직이송부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 수직이송부는,상기 얼라인척의 승하강 방향과 수직방향으로 설치되는 축부재;상기 축부재를 회전시키는 이송모터 및상기 축부재와 연결되어 상기 축부재의 회전력을 직선운동으로 변환하는 제1 변환부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제2 항에 있어서,상기 제1 변환부는,상기 축부재와 연결되어 상기 축부재의 회전에 따라 수평방향으로 이동하고, 일면에 제1 경사면이 형성되는 제1 변환부재 및상기 얼라인척에 연결되고 상기 제1 경사면과 대향되는 위치에 제2 경사면이 형성되어 상기 제2 경사면이 상기 제1 경사면을 따라 상승 또는 하강하도록 형성되는 제2 변환부재를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제3 항에 있어서,상기 제1 및 제2 변환부재 사이에 배치되어 상기 제1 변환부재의 수평이동 시 상기 제1 및 제2 경사면을 따라 슬라이딩하는 제3 변환부재를 포함하고,상기 제3 변환부재의 단면적은 상기 제1 및 제2 경사면보다 작도록 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제4 항에 있어서,상기 수직이송부는,상하방향으로 배치되는 이송가이드;상기 이송가이드에 연결되어 상기 이송가이드를 따라 상하방향으로 이동 가능하게 형성되는 가동부재를 포함하고,상기 이송모터 및 상기 제1 변환부의 구동에 따라 상기 가동부재가 상하방향으로 이동되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제5 항에 있어서,상기 수직이송부는,상기 가동부재의 일측에 설치되어 상기 가동부재의 위치를 검출하는 이송검출부재를 더 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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7
제6 항에 있어서,상기 이송가이드의 일측면에 상기 이송검출부재가 상기 가동부재의 위치를 산출할 수 있도록 제1 스케일 테이프가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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8
제1 항에 있어서,상기 얼라인척이 내부에 위치하고 상기 얼라인척을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 테두리부 및상기 테두리부 하부에 위치하고, 상기 얼라인척과 상기 테두리부에 결합되어 상기 테두리부를 상기 얼라인척을 기준으로 회전시키는 락킹부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제8 항에 있어서,상기 락킹부는,상기 얼라인척에 연결되는 내부몸체;상기 테두리부와 결합되어 상기 테두리부와 동시에 회전 가능하도록 형성되는 외부몸체 및 상기 내부몸체는 내륜에 결합되고 상기 외부몸체는 외륜에 결합되어 상기 내부몸체와 상기 외부몸체를 회전시키는 회전베어링을 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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10
제9 항에 있어서,상기 외부몸체의 외측면에 결합되어 상기 외부몸체를 회전시키는 락킹구동부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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11
제10 항에 있어서,상기 락킹구동부는,상기 외부몸체의 외주면을 감싸도록 형성되어 상기 외부몸체를 회전시키는 락킹벨트 및상기 락킹벨트를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 락킹모터를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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12
제9 항에 있어서,상기 외부몸체는,외측면에 상기 락킹벨트가 삽입되도록 외측면을 따라 락킹홈이 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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13
제10 항에 있어서,상기 락킹구동부는,상기 외부몸체의 회전각도를 검출하는 락킹검출부재를 더 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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14
제13 항에 있어서,상기 외부몸체의 외주면에는 상기 락킹검출부재가 상기 외부몸체의 회전각도를 산출할 수 있도록 제2 스케일 테이프가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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15
제1 항에 있어서,상기 얼라인척 일측에 위치하여 상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체의 위치를 촬영하는 촬영부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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16
제15 항에 있어서,상기 촬영부는 제1 촬영부 및 제2 촬영부를 포함하고,상기 제1 촬영부는 상기 탐침의 위치를 검출하도록 형성되고, 상기 제2 촬영부는 상기 척 조립체의 위치를 검출하도록 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제16 항에 있어서,상기 제2 촬영부는 상기 얼라이너와 이격되도록 배치되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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18
제1 항에 있어서,상기 척 조립체의 일면에 형성되는 제1 위치결정부 및상기 얼라인척은 일면에 상기 제1 위치결정부의 위치와 일치되도록 배치되고, 상기 제1 위치결정부와 대응되게 형성되는 제1 위치대응부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제18 항에 있어서,상기 제1 위치결정부는 상기 척 조립체의 일면에 돌출 형성되는 핀 형상으로 형성되고, 상기 제1 위치대응부는 상기 핀과 대응되게 홀 또는 홈 형상으로 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제8 항에 있어서,상기 테두리부의 일면에 형성되는 제2 위치결정부 및상기 척 조립체의 일면에 상기 제2 위치결정부의 위치와 일치되도록 배치되고, 상기 제2 위치결정부와 대응되게 제2 위치대응부가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제20 항에 있어서,상기 제2 위치결정부는 상기 테두리부의 일면에 돌출 형성되는 핀 형상으로 형성되고, 상기 제2 위치대응부는 상기 핀과 대응되게 홀 또는 홈 형상으로 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제21 항에 있어서,상기 얼라인척의 중심부에 상기 척 조립체로부터 전기신호를 수신하기 위해 형성되는 커넥터를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제22 항에 있어서,상기 얼라인척은 중심부에 중공홀이 형성되고, 상기 락킹부는 중심부에 중공부가 형성되되, 상기 중공홀과 상기 중공부는 상기 커넥터와 연결되는 전기배선이 결합되도록 동심축 상에 위치하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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웨이퍼를 검사하기 위한 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체;상기 웨이퍼를 지지하는 척 조립체 및상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체를 정렬시킨 후 상기 프로브 카드 조립체 및 척 조립체를 결합시키는 제1 항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 따른 얼라이너를 포함하는 멀티프로버 시스템
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