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평판 형태의 평판 모듈 및 상기 평판 모듈의 일측면에 원기둥 형태로 돌출 형성되는 삽입 모듈을 포함하는 그라운드부; 평판 형태의 기판으로, 상기 평판 모듈과 이격 배치되고, 상기 삽입 모듈이 이격 삽입될 수 있는 원형의 홀이 형성된 기판부; 및 상기 홀의 측면 및 상기 기판부의 적어도 일측면의 홀 가장자리에 형성되는 전극으로서, 전원을 인가 받아 상기 그라운드부와 함께 정전용량을 형성하는 전극부를 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법에 관한 것으로서, 상기 평판 모듈로부터 이격된 위치에 상기 기판부를 지지하기 위한 제 1 스페이서를 배치시키는 단계;상기 그라운드부와 상기 기판부 사이에 형성되어 상기 그라운드부가 외력에 의해 상기 기판부에 대하여 위치가 변화하도록 하는 탄성체층을 형성하기 위해, 상기 평판 모듈 상에 탄성체 액을 도포하고, 상기 삽입 모듈을 상기 홀에 삽입시키며 상기 기판부를 상기 제 1 스페이서 상에 안착시키는 단계;상기 홀과 상기 삽입 모듈 사이에 제 2 스페이서를 배치시키는 단계; 및상기 탄성체 액을 경화시키는 단계를 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 상기 제 1 스페이서는 상기 평판 모듈에 형성된 적어도 하나 이상의 스페이서 삽입홀에 삽입되어 상기 평판 모듈 상에 돌출 형성되는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 제 1 스페이서는 상기 스페이서 삽입홀에 삽입되는 볼트인 힘 센서를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 스페이서는 내주면이 상기 삽입 모듈의 외주면에 밀착되고 상기 홀의 내주면에 밀착되는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄성체는 유전체 물질로 형성되는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판부에 베이스부를 고정시키는 단계를 더 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 6 항에 있어서,상기 기판부와 상기 베이스부 사이에 탄성체층이 형성되도록 상기 기판부 위에 탄성체 액을 도포하는 단계를 더 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 스페이서를 제거하는 단계; 및상기 삽입 모듈의 단부에 상기 삽입 모듈의 반경 바깥으로 돌출되는 헤드부를 가지는 고정부를 고정시키는 단계를 더 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법
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제 6 항에 있어서,상기 베이스부와 상기 그라운드부를 관통하는 접지홀에 접지를 위한 와이어를 삽입하고, 상기 와이어가 상기 접지홀에 삽입된 상태에서 상기 접지홀을 막는 마감부를 삽입하여 고정시키는 단계를 더 포함하는 힘 센서를 제작하는 방법
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평판 형태의 평판 모듈 및 상기 평판 모듈의 일측면에 원기둥 형태로 돌출 형성되는 삽입 모듈을 포함하는 그라운드부;평판 형태의 기판으로, 상기 평판 모듈과 이격 배치되고, 상기 삽입 모듈이 이격 삽입될 수 있는 원형의 홀이 형성된 기판부;상기 기판부와 상기 평판 모듈 사이에 배치되어 상기 기판부에 대하여 상기 그라운드부의 위치가 변화하도록 탄성체로 형성되는 탄성체층;상기 홀의 측면 및 상기 기판부의 적어도 일측면의 홀 가장자리에 형성되는 전극으로서, 전원을 인가 받아 상기 그라운드부와 함께 정전용량을 형성하는 전극부; 및상기 정전용량 값을 이용하여 상기 그라운드부에 가해지는 수직 방향의 힘 또는 수평 방향의 힘을 구하는 힘측정부를 포함하는 힘 센서
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제 10 항에 있어서,상기 홀의 측면 및 상기 기판부 상면의 홀 가장자리에 형성되는 전극은 일체로 형성되는 힘 센서
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제 10 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 분리 형성되는 힘 센서
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제 12 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 두 개 이상으로 등분되는 힘 센서
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제 10 항에 있어서,상기 삽입 모듈 및 상기 전극부가 형성되는 홀을 각각 세 개 이상 형성되고,상기 힘측정부에서 측정된 수직 방향의 힘 및 수평 방향의 힘을 이용하여 상기 그라운드부에 가해지는 다축 힘과 다축 토크를 구하는 연산부를 더 포함하는 힘 센서
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