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복수의 센싱 영역들을 갖는 기판;상기 기판 상에 배치되며, 상기 복수의 센싱 영역들 중 제1 센싱 영역을 다른 센싱 영역들과 분리하는 하우징;상기 하우징들 내의 다공성 구조체;상기 다공성 구조체 상에 제공되며, 상기 다공성 구조체와 전기적으로 연결된 제1 전극 및 제2 전극; 및상기 제1 센싱 영역과 인접하게 배치되어 상기 제1 센싱 영역의 온도를 감지하는 온도 센서를 포함하되,상기 다공성 구조체는 관통홀들이 형성된 바디 및 상기 바디 내의 에어갭을 포함하는 버튼 장치
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제 1 항에 있어서,상기 바디는 그래핀, 전이금속 칼코겐 화합물, 멕신 중 적어도 하나를 포함하는 버튼 장치
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제 1 항에 있어서,상기 관통홀들은 상기 기판의 상면과 수직한 방향으로 상기 바디를 관통하는 버튼 장치
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제 1 항에 있어서,관통 홀들의 최대 폭은 20nm 내지 300nm의 범위를 갖는 버튼 장치
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제 1 항에 있어서,상기 에어갭을 가로질러 상기 바디의 내측벽들을 연결하는 브릿지를 더 포함하는 버튼 장치
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제 1 항에 있어서,상기 바디는 서로 마주하는 제1 내측벽 및 제2 내측벽을 갖고,상기 제1 내측벽으로부터 상기 제2 내측벽을 향하여 돌출된 돌출패턴을 더 포함하는 버튼 장치
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기판;상기 기판 상에 제공되는 다공성 구조체; 및상기 다공성 구조체 상에 제공되며, 상기 다공성 구조체와 전기적으로 연결된 제1 전극 및 제2 전극을 포함하되,상기 다공성 구조체는 관통 홀들이 형성된 바디 및 상기 바디 내의 에어갭을 포함하고,상기 바디는 전이금속 칼코겐 화합물을 포함하고,상기 관통 홀들의 최대 폭들은 20nm 이상 300nm 이하인 습도 센서
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제 7 항에 있어서,상기 관통홀들은 상기 기판의 상면과 수직한 방향으로 상기 바디를 관통하는 습도 센서
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제 7 항에 있어서,상기 에어갭을 가로질러 상기 바디의 내측벽들을 연결하는 브릿지를 더 포함하는 습도 센서
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제 7 항에 있어서,상기 바디는 서로 마주하는 제1 내측벽 및 제2 내측벽을 갖고,상기 제1 내측벽으로부터 상기 제2 내측벽을 향하여 돌출된 돌출패턴을 더 포함하는 습도 센서
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