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하나의 레이저광원부;상기 레이저광원부에서 나온 레이저광을 대상물체에 투과하여 하나의 물체광을 얻는 광학계;상기 물체광을 입사받아 반사면을 서로 달리하여 3개의 반사광으로 분리하도록 구비된 광분리부재;상기 3개의 반사광을 입사받아 간격이 다른 2개의 간섭무늬 패턴을 획득하는 고체촬상소자(CCD); 및상기 2개의 간섭무늬 패턴으로 합성 공간파장(Λ)을 만들어 상기 대상물체의 두께를 측정하도록 구비된 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광분리부재는 제 1 광학유리와 제 2 광학유리의 접합으로 구성된 것을 특징으로 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광분리부재는 상기 물체광이 입사되는 전면에 제 1 광학유리를 두고, 상기 제 1 광학유리의 후면에 공기층을 사이에 두고 반사수단이 구비된 것을 특징으로 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 반사수단은 상기 제 1 광학유리와 이격 거리를 두고 평행하게 배치된 반사판으로, 상기 이격 거리로 상기 공기층의 두께를 조절할 수 있게 구비한 것을 특징으로 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 4 항에 있어서,상기 반사판은 제 2 광학유리이고,상기 제 2 광학유리의 후면에는 광 산란수단이 더 구비된 것을 특징으로 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 합성 공간파장(Λ)은 아래 수식에 따라 상기 3개의 반사광에 의한 전단 거리의 차(△d)에 반비례하고, 상기 레이저광원부의 파장(λ)에 비례하고,상기 수식에서 s는 상기 광분리부재와 상기 고체촬상소자(CCD) 사이의 거리인 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 합성 공간파장(Λ)은 상기 2개의 간섭무늬 패턴의 각 간섭무늬 간격보다 큰 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 광분리부재는 상기 물체광이 입사되는 전면에서 후면으로 가며 상기 3개의 반사광을 각각 발생시키는 제 1 반사면, 제 2 반사면 및 제 3 반사면이 순차 이격되어 구비되고,상기 합성 공간파장(Λ)은 상기 제 2 반사면과 상기 제 3 반사면 사이의 이격 거리 조절로 크기가 가변되는 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치
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제 6 항의 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치로 상기 대상물체의 두께를 측정하는 방법에 있어서,상기 컴퓨터는 상기 2개의 간섭무늬 패턴을 입력받는 단계;상기 물체 평면으로 입력된 상기 2개의 간섭무늬 패턴을 각각 푸리에 평면으로 변환하여 소정의 처리 후 복원 이미지 평면으로 역 푸리에 변환을 하는 단계; 및상기 이미지 평면 상으로 변환된 복소진폭으로부터 각각의 위상값을 구하여 상기 대상물체의 합성 위상을 얻고, 상기 합성 공간파장(Λ)와 상기 대상물체의 굴절률로 상기 대상물체의 두께(△L)를 계산하는 단계를 포함하여 진행하도록 프로그램된 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 대상물체의 두께(△L)는 아래 수식으로 계산되고,상기 수식에서 은 상기 3차원 고단차 물체 형상 측정 장치에서 상기 대상물체를 놓고 계산된 합성 위상과 상기 대상물체를 놓지 않고 계산된 합성 위상의 차이고, 는 상기 대상물체의 굴절률과 상기 대상물체가 놓인 환경의 굴절률 차이인 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 방법
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제 10 항에 있어서,상기 광분리부재는 상기 물체광이 입사되는 전면에서 후면으로 가며 상기 3개의 반사광을 각각 발생시키는 제 1 반사면, 제 2 반사면 및 제 3 반사면이 순차 이격되어 구비되고,상기 합성 공간파장(Λ)은 상기 제 2 반사면과 상기 제 3 반사면 사이의 이격 거리 조절로 가변되어 상기 대상물체의 두께(△L) 측정 범위를 확장시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 3차원 고단차 물체 형상 측정 방법
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