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금속층; 및 투명 전도성 산화물층;을 포함하며,상기 투명 전도성 산화물층은 하기 [화학식 1]의 조성에 질소 도핑된 것인, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 투명 박막 히터는 투명 전도성 산화물층/금속층/투명 전도성 산화물층의 다층 구조(OMO) 또는 금속층/투명 전도성 산화물층의 다층구조(MO)를 포함하는, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 금속층은 5 내지 25 nm 두께 범위인, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 금속층은 8 내지 15 nm 두께 범위인, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 20-80 nm 두께 범위인, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 아르곤(Ar), 산소(O2), 및 질소(N2) 가스 분위기에서 증착되어 형성된, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 투명 전도성 산화물층은 질소 분압을 0
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제1항에 있어서,상기 투명 박막 히터는 플렉서블 투명 박막 히터인, 투명 박막 히터
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제1항에 있어서,상기 투명 박막 히터에 전압을 인가하는 접속부를 더 포함하며, 1 내지 10 V의 인가 전압을 갖는, 투명 박막 히터
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10
제1항에 있어서,상기 투명 박막 히터는 6 V 이하의 전압을 인가하는 경우, 30초 이내에 100℃의 온도에 도달하는, 투명 박막 히터
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 투명 박막 히터를 포함하는, 운송 수단
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 투명 박막 히터를 포함하는, 스마트 윈도우
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금속층의 일면 또는 양면 상에 투명 전도성 산화물층을 증착시키는 단계;를 포함하며,상기 투명 전도성 산화물층은 하기 [화학식 1]의 조성인, 투명 박막 히터 제조방법
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제13항에 있어서,상기 증착시키는 단계는 질소(N2); 및 아르곤(Ar) 또는 산소(O2) 중 하나 이상;을 포함하는 증착 가스 분위기에서 증착시키는 것인, 투명 박막 히터 제조방법
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제13항에 있어서,상기 증착은 물리적 기상 증착인, 투명 박막 히터 제조방법
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제14항에 있어서,상기 증착 가스의 분압은 아래의 수학식 1 및 수학식 2인, 투명 박막 히터 제조방법
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제14항에 있어서,상기 증착 가스는 질소 분압을 0
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제13항에 있어서,기판 상에서 금속층의 양면 상에 투명 전도성 산화물층을 증착시키는 것인, 투명 박막 히터 제조방법
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제18항에 있어서, 상기 기판은 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리 에테르설폰, 폴리 카보네이트 또는 이들을 포함하는 폴리머 기판으로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상인, 투명 박막 히터 제조방법
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