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기판 상에서 소자가 전사되지 않은 리페어 영역에 신규 접속소재를 전사하는 접속소재 전사용 스탬프; 그리고 상기 신규 접속소재에 신규 소자를 전사하는 소자 전사용 스탬프를 포함하고, 상기 소자 전사용 스탬프는, 가압력이 가해지면 굽힘 변형되어 상기 신규 소자의 파손 한계 하중보다 작은 제로강성(Zero Stiffness) 하중이 상기 신규 소자에 가해지도록 하는 소자용 하중 제어부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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기판 상에서 불량 소자 및 상기 불량 소자가 제거된 후 남은 잔류 접속소재를 제거하는 제거용 스탬프; 상기 불량 소자 및 상기 잔류 접속소재가 제거된 리페어 영역에 신규 접속소재를 전사하는 접속소재 전사용 스탬프; 그리고 상기 신규 접속소재에 신규 소자를 전사하는 소자 전사용 스탬프를 포함하고, 상기 소자 전사용 스탬프는, 가압력이 가해지면 굽힘 변형되어 상기 신규 소자의 파손 한계 하중보다 작은 제로강성(Zero Stiffness) 하중이 상기 신규 소자에 가해지도록 하는 소자용 하중 제어부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제2항에 있어서, 상기 제거용 스탬프는 상기 불량 소자와 접촉되는 복수의 패드를 가지고, 상기 복수의 패드 중 하나의 패드가 선택되어 상기 불량 소자와 점착되는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제3항에 있어서, 상기 제거용 스탬프는 이격된 한 쌍의 롤러에 연결되어 공급되고, 하면에 상기 복수의 패드가 일렬로 부착되는 테이프와, 상기 테이프의 상측에 승강 가능하게 설치되고, 상기 테이프를 하측으로 가압하여 일렬로 부착된 상기 복수의 패드 중 하나의 패드를 상기 불량 소자에 가압하는 가압헤드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제3항에 있어서, 상기 제거용 스탬프는 상기 복수의 패드가 하면에 어레이 형태로 부착되는 부착 필름과, 상기 부착 필름의 상측에서 수평이동 및 승강 가능하게 설치되고, 상기 부착 필름을 하측으로 가압하여 어레이 형태로 부착된 상기 복수의 패드 중 하나의 패드를 상기 불량 소자에 가압하는 가압로드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제3항에 있어서, 상기 패드는 상기 불량 소자가 삽입되도록 상기 패드의 하부에 함몰 형성되는 수용홈과, 상기 수용홈의 둘레에 구비되는 히터와, 상기 수용홈에 구비되고, 상기 히터에 의해 가열되어 상기 수용홈에 삽입된 상기 불량 소자가 점착되도록 하는 점착층을 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제6항에 있어서, 상기 히터는 상기 불량 소자 및 상기 기판을 전기적으로 연결하는 접속소재가 유도 가열되도록 하는 유도 가열 히터인 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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8
제3항에 있어서, 상기 제거용 스탬프는 가압력이 가해지면 굽힘 변형되어 상기 불량 소자의 파손 한계 하중보다 작은 제로강성 하중이 상기 불량 소자에 가해지도록 하는 제거용 하중 제어부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소자 전사용 스탬프는 외부에서 공급되는 유체가 통과하는 유체주입구와, 상기 유체주입구를 통해 주입되는 유체에 의해 하측으로 팽창되고 점착력을 가지는 탄성층과,상기 탄성층 및 상기 신규 소자 사이의 점착력이 조절되도록, 상기 유체주입구를 통한 유체의 주입량을 제어하는 유량제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 신규 소자를 가압 및 가열하여 상기 신규 접속소재에 상기 신규 소자를 접합하는 리플로우용 스탬프를 포함하고, 상기 리플로우용 스탬프는 상기 신규 소자를 가압하면서 상기 신규 소자 및 상기 신규 접속소재를 가열하는 가압 히터와, 상기 가압 히터의 둘레에 배치되고, 상기 가압 히터가 상기 신규 소자를 가압 시에 상기 신규 소자 주위의 소자에 밀착되는 완충층을 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제10항에 있어서, 상기 리플로우용 스탬프는 가압력이 가해지면 굽힘 변형되어 상기 신규 소자의 파손 한계 하중보다 작은 제로강성 하중이 상기 신규 소자에 가해지도록 하는 리플로우용 하중 제어부를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속소재 전사용 스탬프는 이격된 한 쌍의 롤러에 연결되어 공급되고, 하면에는 신규 접속소재가 일렬로 부착되는 테이프와, 상기 테이프의 상측에 승강 가능하게 설치되고, 상기 테이프를 하측으로 가압하여 일렬로 부착된 상기 복수의 신규 접속소재 중 하나의 신규 접속소재를 상기 리페어 영역에 가압하는 가압헤드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속소재 전사용 스탬프는 복수의 신규 접속소재가 하면에 어레이 형태로 부착되는 부착 필름과, 상기 부착 필름의 상측에서 수평이동 및 승강 가능하게 설치되고, 상기 부착 필름을 하측으로 가압하여 어레이 형태로 부착된 상기 복수의 신규 접속소재 중 하나의 신규 접속소재를 상기 리페어 영역에 가압하는 가압로드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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14
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소자 전사용 스탬프는 이격된 한 쌍의 롤러에 연결되어 공급되고, 하면에는 신규 소자가 일렬로 부착되는 테이프와, 상기 테이프의 상측에 승강 가능하게 설치되고, 상기 테이프를 하측으로 가압하여 일렬로 부착된 상기 복수의 신규 소자 중 하나의 신규 소자를 상기 신규 접속소재에 가압하는 가압헤드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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15
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소자 전사용 스탬프는 복수의 신규 소자가 하면에 어레이 형태로 부착되는 부착 필름과, 상기 부착 필름의 상측에서 수평이동 및 승강 가능하게 설치되고, 상기 부착 필름을 하측으로 가압하여 어레이 형태로 부착된 상기 복수의 신규 소자 중 하나의 신규 소자를 상기 신규 접속소재에 가압하는 가압로드를 가지는 것을 특징으로 하는 소자 리페어 장치
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