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유전체층과, 상기 유전체층 상에 배치된 다수의 전극 패턴들을 포함하는 프로브 기판; 및 상기 프로브 기판 상에 배치되는 프로브 소켓을 포함하는 마이크로 LED 검사 장치에 있어서, 상기 프로브 소켓은 접착층 및 상기 접착층에 관통 방식으로 매립된 다수의 도전성 입자들을 포함하고, 상기 도전성 입자 각각은 상기 접착층의 일면에서 상기 다수의 전극 패턴들 중 하나의 전극 패턴과 접촉하고, 상기 접착층의 타면에서 외부로 노출되며, 상기 도전성 입자 각각은 상기 접착층이 제1 온도 구간에서 제1 점도를 갖는 상태일 때 상기 접착층에 가압되어 당해 접착층 내에 배치되고, 상기 접착층이 상기 제1 온도 구간과 상이한 제2 온도 구간에서 상기 제1 점도보다 높은 제2 점도를 갖는 상태가 될 때 상기 접착층에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 온도 구간은 상기 제1 온도 구간보다 높은 온도 구간인 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 온도 구간은 상기 제1 온도 구간보다 낮은 온도 구간인 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 접착층은 제1 온도 구간에서 반액체 상태이고, 상기 제2 온도 구간에서 고체 상태로 경화되는 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 도전성 입자들은,절연 필름 상에 PDMS를 코팅하고 상기 PDMS 상에 세라믹 입자의 단층을 형성하는 단계;점착제 필름에 포토 마스크를 이용하여 UV 광을 조사하여 전사 필름을 제조하는 단계;상기 세라믹 입자의 단층 상에 상기 전사 필름을 부착한 후 박리하여 상기 PDMS 상의 특정 영역에 위치하는 세라믹 입자를 제거하는 단계;상기 세라믹 입자가 제거된 영역에 상기 도전성 입자를 부착하여 상기 특정 영역에 도전성 입자 단층을 형성한 몰드를 제조하는 단계; 상기 접착층이 상기 제1 온도 구간에서 상기 제1 점도를 갖는 상태일 때 상기 몰드를 상기 접착층 상에 밀착하여 상기 도전성 입자를 전사하는 단계; 및상기 접착층이 제2 온도 구간에서 제2 점도를 갖는 상태일 때 상기 몰드와 상기 접착층을 분리하는 단계를 통해 상기 접착층 내에 관통 방식으로 매립되는 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 도전성 입자의 직경은 상기 세라믹 입자의 직경보다 큰 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 도전성 입자의 직경은 상기 접착층의 두께보다 큰 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전극 패턴들 중 동일한 행에 배치된 전극 패턴들이 전기적으로 연결되거나, 동일한 열에 배치된 전극 패턴들이 전기적으로 연결된 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전극 패턴들 중 어느 하나의 행에 배치된 전극 패턴들이 나머지 행에 배치된 전극 패턴들과 독립적으로 구동되거나, 어느 하나의 열에 배치된 전극 패턴들이 나머지 열에 배치된 전극 패턴들과 독립적으로 구동되는 마이크로 LED 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 다수의 전극 패턴들은,일 방향을 따라 전기적으로 연결되고, 제1 구동 신호를 공급받는 다수의 제1 전극 패턴들; 및상기 제1 전극 패턴들과 나란히 배치되고, 상기 일 방향을 따라 전기적으로 연결되며, 상기 제1 구동 신호와 상이한 제2 구동 신호를 공급받는 다수의 제2 전극 패턴들을 포함하는 마이크로 LED 검사 장치
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제10항에 있어서,상기 다수의 도전성 입자들은 상기 다수의 제1 전극 패턴들 각각과 접촉하는 다수의 제1 도전성 입자들과, 상기 다수의 제2 전극 패턴들 각각과 접촉하는 다수의 제2 도전성 입자들을 포함하고,상기 제1 도전성 입자와 상기 제2 도전성 입자는 상기 일 방향과 교차하는 방향을 따라 교번하여 배치되는 마이크로 LED 검사 장치
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제1 온도 구간에서 제1 점도를 갖고, 상기 제1 온도 구간과 상이한 제2 온도 구간에서 상기 제1 점도보다 높은 제2 점도를 갖는 접착층; 및다수의 도전성 입자들로서, 각각의 입자는 상기 접착층이 상기 제1 점도를 가질 때 상기 접착층을 관통하여 배치되고, 상기 접착층이 상기 제2 점도를 가질 때 상기 접착층에 의해 고정되며, 상기 접착층의 일 면에서 상기 접착층의 외부로 노출되는 부분과 상기 접착층의 타 면에서 상기 접착층의 외부로 노출되는 부분을 포함하는 상기 다수의 도전성 입자들을 포함하는 프로브 소켓
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