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탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법

  • 기술번호 : KST2022003441
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법에 관한 것으로서, 탄화규소 웨이퍼에 PL 장치의 레이저를 이용하여 스케닝시키는 단계; 상기 레이저 스케닝에 의해 획득한 PL 검출신호를 밴드패스 필터로 이미지 처리하는 단계; PL 세기 분포그래프와 이미지를 매칭하여 TSD와 TED 결함을 판단하는 단계;로 이루어지며, 상기 단계는 레이저 선폭이 Aum 일 때, 레이저 스케닝 스텝 간격을 a ~ A um(0<a<A)에서 제어하여 TSD와 TED 결함 이미지 해상도를 조절하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하여 탄화규소를 이용하여 에피층에 존재하는 결정결함을 구분하고 분포 및 밀도를 비파괴적으로 파악하면서 획득 이미지 해상도를 제어할 수 있는 탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법이 제공되는 이점이 있다.
Int. CL G01N 21/95 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 21/89 (2006.01.01)
CPC G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8901(2013.01) G01N 2021/8887(2013.01) G01N 2201/06113(2013.01) G01N 2201/105(2013.01)
출원번호/일자 1020200141923 (2020.10.29)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-2381348-0000 (2022.03.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20220330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.03.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나문경 경상남도 창원시 성산구
2 방욱 경상남도 창원시 성산구
3 정현진 경상남도 창원시 성산구
4 문정현 경상남도 김해시 율하*로 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-1152073-05
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
3 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2021-0256820-11
4 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2021.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2021-0256695-00
5 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination
2021.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2021-0314057-30
6 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-0469181-84
7 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2021.04.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2021.04.27 수리 (Accepted) 9-1-2021-0006036-44
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0448038-73
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0782211-75
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2021-0782205-01
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0763433-50
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-1379949-21
14 등록결정서
Decision to grant
2022.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0067536-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탄화규소 웨이퍼에 PL 장치의 레이저를 이용하여 레이저 선폭이 Aum (0<A)일 때, 레이저 스케닝 스텝 간격을 a ~ A um (0<a<A)에서 제어하여 레이저 스케닝시키는 단계;상기 레이저 스케닝에 의해 획득한 PL 검출신호를 밴드패스 필터로 이미지 처리하는 단계;PL 세기 분포그래프와 이미지를 매칭하여 TSD와 TED 결함을 판단하는 단계;로 이루어져 TSD와 TED 결함 이미지 해상도를 조절하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법
2 2
제1항에 있어서 상기 레이저 스케닝은 PL 장치의 355 nm, 25 mW, 폭 5um 레이저를 이용하여 레이저 스케닝 스텝 간격 1um로 스케닝시켜 이루어지고,상기 밴드패스 필터는 382±15nm 밴드패스 필터로 이루어져 이미지 처리시킬 때,TSD와 TED 결함 이미지 해상도는결함이 없는 영역에 비해 PL 세기가 69
3 3
제1항에 있어서 상기 레이저 스케닝은PL 장치의 355 nm, 25 mW, 폭 5um 레이저를 이용하여 레이저 스케닝 스텝 간격 5um로 스케닝시켜 이루어지고,상기 밴드패스 필터는 382±15nm 밴드패스 필터로 이루어져 이미지 처리시킬 때,TSD와 TED 결함 이미지 해상도는결함이 없는 영역에 비해 PL 세기가 86
4 4
제2항 또는 제3항에 있어서 상기 탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법은TSD와 TED 결함 판단 후에매칭된 이미지에 TSD와 TED 결함을 표시하여 출력시키는 것을 특징으로 하는 탄화규소 웨이퍼의 TSD와 TED 결함 비파괴 분석법
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 06-중소·중견기업 지원 및 국제공인 전기기기 시험인증 기술 개발 실리콘 카바이드 분석 PL 장비 개발용 결함 데이터 분석 기법 연구