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3D 다공성 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 탄소 물질
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제1항에 있어서,상기 레이저 유도 탄소 물질은 99% 이상의 중복 계수(overlapping factor, Of)를 가지며,상기 중복 계수는 하기 [식 1]을 통해 계산되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 탄소 물질;[식 1]상기 D는 레이저 유도 탄소 물질에 형성된 패턴의 직경, t는 펄스 지속 시간(ms), f는 펄스 주파수(Hz) 및 v는 레이저 속도(mm/s)이다
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제1항에 있어서,상기 레이저 유도 탄소 물질은 0
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베이스기판 상면에 레이저 빔을 조사하여 3D 다공성 구조의 레이저 유도 탄소 물질을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 탄소 물질의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 레이저 빔은 5 내지 20 mm/s의 레이저 속도 및 320 내지 380 nm의 파장에서 조사되는 것을 특징으로 하는 레이저 유도 탄소 물질의 제조방법
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 3D 다공성 구조를 갖는 레이저 유도 탄소 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 습도 센서
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