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유체를 순환되는 유로상에 반도체 소자들이 배치되어 상기 반도체 소자들 각각이 소정의 온도에서 작동하는지 유무를 판단하는 반도체 테스트 챔버로써, 상기 반도체 소자들이 장착된 반도체 트레이를 포함하는 반도체 테스트부; 상기 반도체 테스트부의 일측에 배치되어 상기 반도체 테스트부로 유체를 전달시키는 송풍기;상기 반도체 테스트부를 통과한 유체가 유입되도록 형성되어 상기 반도체 소자가 테스트 조건에 상응하는 온도로 유지되도록 상기 유입된 유체의 온도를 조절하며, 상기 송풍기로 유체를 전달하는 온도조절부를 포함하는 반도체 테스트 챔버
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제1 항에 있어서, 상기 반도체 테스트부, 상기 송풍기 및 상기 온도조절부가 내부에 설치되는 본체를 포함하고,상기 본체 내부에는 상기 유체가 순환되는 유로가 형성되고 상기 본체는 단면이 사각형으로 형성되는 반도체 테스트 챔버
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제2 항에 있어서,상기 온도조절부는, 상기 송풍기 및 상기 반도체 테스트부 사이에 형성된 유로상에 배치되어 상기 반도체 소자가 테스트 조건에 상응하는 온도로 유지되도록 유체의 온도를 조절하는 히터 및상기 반도체 테스트부 및 상기 송풍기 사이에 형성된 유로상에 배치되어 상기 반도체 소자가 테스트 조건에 상응하는 온도로 유지되도록 유체의 온도를 조절하는 열교환기를 포함하는 반도체 테스트 챔버
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제3 항에 있어서,상기 반도체 트레이는 복수개로 형성되고,상기 복수개의 반도체 트레이는 상기 유체의 유로방향과 수직한 방향으로 적층되는 반도체 테스트 챔버
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제4 항에 있어서,상기 반도체 테스트부는 제1 반도체 테스트 및 제2 반도체 테스트를 포함하고,상기 제1 반도체 테스트 및 상기 제2 반도체 테스트는 상기 유체의 유로방향과 수직한 방향으로 적층되도록 형성되는 반도체 테스트 챔버
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제5 항에 있어서,상기 유로는 제1 유로 및 상기 제1 유로의 순환방향과 반대방향으로 순환하는 제2 유로를 포함하고,상기 제1 유로는 상기 송풍기, 상기 제1 반도체 테스트 및 상기 온도조절부를 통해 순환하는 유로이고,상기 제2 유로는 상기 송풍기, 상기 제2 반도체 테스트 및 상기 온도조절부를 통해 순환하는 유로인 반도체 테스트 챔버
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제5 항에 있어서,상기 유로는 제1 유로 및 상기 제1 유로의 순환방향과 반대방향으로 순환하는 제2 유로를 포함하고,상기 송풍기는 제1 송풍기 및 상기 제1 송풍기와 이격되게 배치되는 제2 송풍기를 포함하고,상기 제1 유로는 상기 제1 송풍기, 상기 제1 반도체 테스트 및 상기 온도조절부를 통해 순환하는 유로이고,상기 제2 유로는 상기 제2 송풍기, 상기 제2 반도체 테스트 및 상기 온도조절부를 통해 순환하는 유로인 반도체 테스트 챔버
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제6 항에 있어서,상기 본체는, 상기 제1 유로가 형성되도록 하는 제1 격벽 및상기 제2 유로가 형성되도록 하는 제2 격벽을 포함하는 반도체 테스트 챔버
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제3 항에 있어서,상기 송풍기 및 상기 히터 및 상기 반도체 테스트부가 일직선상에 배치되도록 형성된 반도체 테스트 챔버
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제9 항에 있어서,상기 유로는 제1 유로 및 상기 제1 유로의 순환방향과 반대방향으로 순환하는 제2 유로를 포함하고,상기 열교환기는 제1 유로 상에 위치하는 제1 열교환기; 및 상기 제2 유로상에 위치하는 제2 열교환기를 포함하고,상기 제1 유로는 상기 송풍기, 상기 히터, 상기 제1 반도체 테스트 및 상기 제1 열교환기를 순환하고,상기 제2 유로는 상기 송풍기, 상기 히터, 상기 제2 반도체 테스트 및 상기 제2 열교환기를 순환하는 반도체 테스트 챔버
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제1 항에 있어서,상기 유로는 상기 반도체 테스트부의 상부 및 하부 중 적어도 하나에서 형성되는 반도체 테스트 챔버
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제1 항에 있어서,상기 유로는 상기 반도체 테스트부의 좌측 및 우측 중 적어도 하나에서 형성되는 반도체 테스트 챔버
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