| 1 |
1
기판 상에 나노입자가 용매에 분산된 형태의 나노입자 분산액을 코팅하는 코팅 단계; 및 상기 나노입자 분산액 코팅에 레이저를 조사하여 용매의 증발에 의해 기공을 형성시키면서 나노입자를 소결시켜 다공성 구조를 갖는 전극 구조체를 형성하는 레이저 조사 단계를 포함하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 기판의 제곱평균제곱근 거칠기(root-mean-square roughness, Rrms)가 100nm 내지 10mm인 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 기판이 3차원 형상의 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 기판이 실리콘 웨이퍼, 쿼츠, 유리, 강화유리, SiO2, 알루미늄(Al), 철(Fe), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 아연(Zn), 알루미늄 산화물, 철 산화물, 금 산화물, 은 산화물, 구리 산화물, 티타늄 산화물, 아연 산화물, 폴리이미드(PI), 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리우레탄(PU), 폴리카보네이트(PC), 대리석, 화강암, 세라믹, 점토, 시멘트 및 목재로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 나노입자가 구리(Cu), 알루미늄(Al), 철(Fe), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag), 코발트(Co), 티타늄(Ti) 및 아연(Zn)으로 구성된 군으로부터 선택된 금속, 상기 금속의 산화물, 또는 이들의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 용매가 증류수, 탈이온수, 이소프로판올(isopropanol), 에탄올(ethanol), 메탄올(methanol), 부탄올(butanol), 프로판올(propanol), 에틸렌글리콜(ethyleneglycol), 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone), 글리콜에테르(glycol ether), 아세톤(acetone), 톨루엔(toluene), 디클로로메탄(dichloromethane), 테트라하이드로퓨란(tetrahydrofuran, THF) 및 디메틸포름아미드(dimethylformamide)로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 코팅 단계 이후에, 나노입자 분산액 코팅을 건조하여 잔여 용매의 함량을 조절하는 단계를 더 포함하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 잔여 용매의 함량이 10 내지 60중량%인 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 레이저가 라인 빔(line beam)인 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 상기 레이저가 베셀 빔(bessel beam)인 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서, 상기 베셀 빔이 다중 파장(multi-wavelength)을 갖는 레이저 빔을 광원으로 하는 베셀 빔으로서, 각 파장에 따라 상이한 위치에 초점이 형성되고, 상기 초점들이 연결되거나 서로 인접하여 하나의 긴 초점을 형성하는 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서, 상기 다중 파장을 갖는 레이저 빔을 파장에 따라 분리한 후 원하는 파장의 광만을 중첩시켜 광원으로 사용하는 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 13 |
13
제 11 항에 있어서,상기 다중 파장을 갖는 레이저 빔이 둘 이상의 단일 파장 레이저 또는 다중 파장 레이저를 중첩시켜 형성된 것을 특징으로 하는, 기판 상에 다공성 전극 구조체를 형성하는 방법
|
| 14 |
14
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 형성된 다공성 전극 구조체
|
| 15 |
15
제 14 항에 따른 다공성 전극 구조체를 집전체로서 포함하는 에너지 저장 장치
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 에너지 저장 장치가 캐패시터, 슈퍼캐패시터 및 배터리로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는, 에너지 저장 장치
|
