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광학 측정 장치에 있어서,빛이 입사되는 유니버셜 메타 표면;상기 유니버셜 메타 표면을 통과한 빛의 편광 상태를 측정하는 편광 센서 및상기 편광 센서를 통해 수집되는 입사광의 x 편광에 대한 QDIC (Quantitative Differential interference contrast) 영상, y 편광에 대한 QDIC 영상 및 상기 x 편광과 y 편광 사이의 상대적인 위상차이를 나타내는 QRP(Quantitative Relative Phase) 영상을 수집하고, 상기 입사광의 세기, 위상 또는 편광 정보를 산출하는 제어부를 포함하는, 광학 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유니버셜 메타 표면은 x 편광에 대한 QDIC 영상() 및 QDIC 영상()과 y 편광에 대한 QDIC 영상()과 QDIC 영상()을 생성하고, 상기 x 편광과 y 편광 사이의 상대적인 위상차이를 나타내는 QRP 영상을 생성하는 것인, 광학 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 유니버셜 메타 표면은 x 편광에 대한 QDIC 영상()과 y 편광에 대한 QDIC 영상()을 생성하고, 상기 x 편광과 y 편광 사이의 상대적인 위상차이를 나타내는 QRP 영상을 생성하는 것인, 광학 측정 장치
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유니버셜 메타 표면과 상기 편광 센서사이에 배치되고, 상기 유니버셜 메타 표면에 의해 생성된 QDIC 영상과 QRP 영상을 상기 편광 센서에 전달하는 메타 표면을 더 포함하는, 광학 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는 상기 편광 센서를 통해 상기 입사광의 세기를 측정하는 것인, 광학 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는 상기 편광 센서를 통해 수집한 x 편광의 위상에 대한 기울기()를 적분하여 x 편광의 위상()을 구하고, 상기QRP 영상으로부터 획득한 x 편광과 y 편광의 상대적인 위상차이를 기초로 상기 x 편광의 위상()으로부터 y 편광의 위상()을 구하고, 상기 y 편광의 위상()에 상기 y 편광의 위상에 대한 기울기()를 적분하여 전체 영역에 대한 y 편광의 위상()을 구하고, 상기 y 편광의 위상()에 상기QRP 영상으로부터 획득한 x 편광과 y 편광의 상대적인 위상차이를 적용하여 x 편광의 위상()을 산출하는 것인, 광학 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는 x 편광과 y 편광의 세기 사이의 상대적인 비율(χ)과 x 편광과 y 편광의 위상 차이로 편광 상태에 대한 정보를 산출하는 것인, 광학 측정 장치
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8
제 1 항에 있어서,상기 유니버셜 메타 표면은 이중층의 메타 표면으로서, 제 1 층의 메타 표면과 제 2 층의 메타 표면을 포함하는 것인, 광학 측정 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 층의 메타 표면은 기판에 형성되며, 제 1 호스트 물질 및 제 1 복수의 구조체를 포함하고, 상기 제 2 층의 메타 표면은 상기 제 1 층의 메타 표면 상에 형성되고, 제 2 복수의 구조체를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 복수의 구조체는 각각 독립적으로 서로 이격하여 배열되는 것인, 광학 측정 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제 1 복수의 구조체 및 상기 제 2 복수의 구조체 각각은 직육면체, 타원기둥, 반타원체, 또는 누워있는 반원기둥의 형상인 것인, 광학 측정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 복수의 구조체는 둘 이상의 제 1 층 구조체 그룹을 포함하고,상기 각각의 제 1 층 구조체 그룹은 서로 상이한 형상의 구조체를 포함하는 것이고,상기 제 2 복수의 구조체는 둘 이상의 제 2 층 구조체 그룹을 포함하고,상기 각각의 제 2 층 구조체 그룹은 동일한 형상의 구조체를 포함하는 것인, 광학 측정 장치
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제 11 항에 있어서,상기 제 1 복수의 구조체 및 상기 제 2 복수의 구조체는 타원기둥 형상이고,상기 제 1 층 구조체 그룹에서의 구조체의 장축의 길이, 단축의 길이 및 수평에 대해 회전된 각도(θ1) 중에서 하나 이상이 조절되고,상기 제 2 층 구조체 그룹에서의 구조체의 장축의 길이, 단축의 길이 및 수평에 대해 회전된 각도(θ2) 중에서 하나 이상이 조절되는, 광학 측정 장치
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유니버셜 메타 표면을 포함하는 광학 측정 장치의 동작 방법에 있어서,상기 광학 측정 장치의 유니버셜 메타 표면을 통해 생성된 x 편광에 대한 QDIC 영상, y 편광에 대한 QDIC 영상 및 x 편광과 y 편광 사이의 상대적인 위상차이를 나타내는 QRP 영상을 편광 센서를 통해 측정하는 단계;상기 편광 센서의 측정값에 기초하여 입력광에 대한 빛의 세기를 산출하는 단계;상기 QDIC 영상으로부터 획득한 위상의 기울기와 QRP 영상으로부터 x 편광의 위상과 y 편광의 위상을 산출하는 단계 및상기 빛의 세기와 상기 x 편광의 위상과 y 편광의 위상을 기초로 편광 상태 정보를 산출하는 단계를 포함하는, 광학 측정 장치의 동작 방법
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제 13 항에 있어서,상기 x 편광의 위상과 y 편광의 위상을 산출하는 단계는,상기 편광 센서를 통해 수집한 x 편광의 위상에 대한 기울기()를 적분하여 x 편광의 위상()을 산출하는 단계; 상기QRP 영상으로부터 획득한 x 편광과 y 편광의 상대적인 위상차이를 기초로 상기 x 편광의 위상()으로부터 y 편광의 위상()을 산출하는 단계; 상기 y 편광의 위상()에 상기 y 편광의 위상에 대한 기울기()를 적분하여 전체 영역에 대한 y 편광의 위상()을 산출하는 단계; 및상기 y 편광의 위상()에 상기QRP 영상으로부터 획득한 x 편광과 y 편광의 상대적인 위상차이를 적용하여 x 편광의 위상()을 산출하는 단계를 포함하는 것인, 광학 측정 장치의 동작 방법
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제 13 항에 있어서,상기 편광 상태 정보를 산출하는 단계는, x 편광과 y 편광의 세기 사이의 상대적인 비율(χ)과 x 편광과 y 편광의 위상 차이로 편광 상태에 대한 정보를 산출하는 것인, 광학 측정 장치의 동작 방법
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