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압전 물질로 마련된 베이스에 패터닝되어 신호를 상호 송수신하는 제1 및 제2전극을 포함하여, 상기 제1 및 제2전극 사이에서 송수신되는 신호 변화로 입자의 질량을 측정하는 측정부; 및상기 제1 및 제2전극 사이에 마련된 흡착 영역에 마련되어, 온도 변화에 따라 미세 입자를 흡착하는 흡착부; 를 포함하는 입자 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 측정부는,상호 마주하도록 상기 베이스에 대해 이격되어 패터닝되는 상기 제1 및 제2전극; 및상기 제1 및 제2전극으로 상기 신호의 송수신을 제어하며, 상기 제1 및 제2전극에 송수신된 신호를 상호 비교하여 상기 입자의 질량을 측정하는 제어회로; 를 포함하여, 상기 제1 및 제2전극 중 적어도 어느 하나에 교류 신호가 인가되면, 인가된 상기 교류 신호가 제1 및 제2전극 중 다른 하나로 가진되어 상기 압전 물질의 진동을 발생시키는 입자 측정장치
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제1항에 있어서,상기 흡착부는, 상기 제1 및 제2전극 사이의 상기 흡착 영역에 패터닝되는 발열부재; 및상기 발열부재를 커버하도록 증착되어 마련된 흡착부재; 를 포함하며, 상기 입자를 포집하는 입자 포집 모드에서는 상기 발열부재의 발열이 온(On)되어 상기 흡착부재를 연화시켜 상기 입자를 포집하고, 상기 입자를 측정하는 입자 측정 모드에서는 상기 발열부재의 발열이 오프(Off)되어 상기 흡착부재를 경화시키는 입자 측정장치
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제3항에 있어서, 상기 흡착부재는 열가소성 폴리머 재료로 마련되어, 상기 베이스의 표면에 상기 발열부재를 커버하도록 박막 코팅되는 입자 측정장치
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제3항에 있어서, 상기 발열부재는 백금을 포함하는 금속 재료로 마련되고, 상기 흡착부재는 폴리메틸메타크릴레이트(Poly methyl methacrylate, PMMA)를 포함하는 열가소성 폴리머 플라스틱 재료를 마련되는 입자 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 베이스는 두께 또는 표면을 따라 공진되며, 원형 또는 사각 형상을 가지는 입자 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2전극 사이에 상기 흡착 영역과 대응하여 흡착 전극이 전기적으로 연결되도록 마련되는 입자 측정장치
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압전 물질로 마련된 베이스에 제1 및 제2전극이 상호 이격되도록 패터닝되는 제1단계; 상기 제1 및 제2전극의 사이에 발열 가능한 발열부재가 패터닝되는 제2단계; 및상기 발열부재의 표면에 흡착부재가 증착되는 제3단계;를 포함하며, 상기 발열부재가 온(On)되면 상기 흡착부재에 입자가 포집되고, 상기 발열부재가 오프(Off)되면 상기 압전 물질이 공진되어 상기 입자를 측정하는 입자 측정장치의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 흡착부재는 열가소성 폴리머 재료로 상기 베이스의 표면에 상기 발열부재를 커버하도록 박막 코팅되어 마련되는 입자 측정장치의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 발열부재는 백금을 포함하는 금속 재료로 마련되고, 상기 흡착부재는 폴리메틸메타크릴레이트(Poly methyl methacrylate, PMMA)를 포함하는 열가소성 폴리머 플라스틱 재료를 마련되는 입자 측정장치의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 베이스는 두께 또는 표면을 따라 공진되며, 원형 또는 사각 형상을 가지는 입자 측정장치의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2전극 사이에 상기 흡착 영역과 대응하여 흡착 전극이 전기적으로 연결되도록 마련되는 입자 측정장치
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