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접지전극 및 상기 접지전극으로부터 소정 간격 이격된 신호전극을 포함하는 기판;상기 신호전극에 제공되는 측정용 신호를 생성하는 펄스 제너레이터; 및상기 펄스 제너레이터로부터의 상기 측정용 신호를 상기 신호전극에 인가하기 위한 것으로, 상기 신호전극과 접촉되는 제1 팁 및 상기 접지전극과 접촉되는 제2 팁으로 이루어지는 제1 프로브;를 포함하는 고주파 펄스 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 접지전극과 상기 신호전극 간의 최단 거리는, 상기 제1 팁과 상기 제2 팁 간의 간격 보다 짧은 것을 특징으로 하는 고주파 펄스 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 펄스 제너레이터는 신호선을 통해서 상기 제1 팁과 연결되고, 접지선을 통해서 상기 제2 팁과 연결되며,상기 신호선과 상기 접지선은 동축 케이블 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 고주파 펄스 측정 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 제1 팁은 상기 신호선과 연결되는 도전성의 접촉부;상기 접지선과 연결되는 도전성의 접지부; 및상기 접촉부와 상기 접지부 사이에 개재되어, 상기 접촉부와 상기 접지부 간의 전기적 이동 경로를 차단하는 절연부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 펄스 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 신호전극 및 상기 접지전극으로부터의 펄스를 측정하는 오실로스코프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 펄스 측정 시스템
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제 5 항에 있어서,상기 오실로스코프와 연결되며, 상기 신호전극과 접촉되는 제1 팁 및 상기 접지전극과 접촉되는 제2 팁으로 이루어지는 제2 프로브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 펄스 측정 시스템
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