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이종접합 공중부유 나노와이어 구조체 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022024586
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공중부유 나노와이어 구조체 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 공중부유된 나노와이어가 적어도 둘 이상의 다른 물질로 구성된 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체와 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 형태에 따른 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체는, 기판; 상기 기판 상에 배치되고, 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 전극; 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 다수로 연결되고, 상기 기판으로부터 공중에 부유되고, 제1 물질로 구성된 제1 부분과 상기 제1 물질과 다른 제2 물질로 구성된 제2 부분을 포함하는, 나노와이어;를 포함한다.
Int. CL B82B 1/00 (2017.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01)
CPC B82B 1/00(2013.01) B82B 3/00(2013.01) B82Y 40/00(2013.01) B82Y 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020210081656 (2021.06.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0170611 (2022.12.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤준보 대전 유성구
2 조민승 대전 유성구
3 김상희 대전 유성구
4 최광욱 대전 유성구
5 유재영 대전 유성구
6 김성호 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0725016-08
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 배치되고, 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 다수로 연결되고, 상기 기판으로부터 공중에 부유되고, 제1 물질로 구성된 제1 부분과 상기 제1 물질과 다른 제2 물질로 구성된 제2 부분을 포함하는, 나노와이어;를 포함하는, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제1 부분은 상기 나노와이어의 중앙부에 적어도 하나 이상 위치하는, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제1 부분은 상기 제2 부분의 적어도 일 부분을 둘러싸는, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
4 4
제 1 항에 있어서,상기 다수의 나노와이어와 상기 제1 및 제2 전극을 지지하고, 상기 기판으로부터 공중 부유된 지지층을 더 포함하는, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 물질은 금속산화물이고, 상기 제2 물질은 금속인, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
6 6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 물질은 상기 제1 물질보다 저항값이 상대적으로 더 작은, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
7 7
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 부분은 구동 시 열 고립 현상이 발생되는, 이종접합 공중부유 나노와이어 구조체
8 8
나노그레이팅 기판의 다수의 돌기 상에 금속 물질을 경사 증착하여 다수의 금속 재질의 나노와이어를 형성하는, 나노와이어 형성 단계;각각의 상기 나노와이어의 양 단에 전극을 형성하는, 전극 단계;상기 나노그레이팅 기판을 에칭하여 상기 다수의 나노와이어를 상기 나노그레이팅 기판의 상면으로부터 공중 부유시키는, 공중 부유 단계; 및상기 나노와이어를 줄가열(Joule heating)하여 상기 나노와이어의 적어도 일 부분을 산화시켜 금속산화물을 형성하는, 이종접합 나노와이어 형성 단계; 를 포함하는, 이종접합 나노와이어 구조체 제조 방법
9 9
기판 상에 다수의 돌기를 갖는 지지층을 형성하는 단계;상기 지지층의 다수의 돌기 상에 금속산화물을 경사 증착하여 다수의 금속산화물 재질의 나노와이어를 형성하는, 나노와이어 형성 단계;각각의 상기 나노와이어의 양 단부 각각에 금속층을 형성하는, 금속층 형성 단계; 각각의 상기 나노와이어의 양 단에 전극을 형성하는, 전극 단계;상기 지지층에서 상기 다수의 나노와이어와 상기 전극 주변을 에칭하는 단계;상기 기판을 에칭하여 상기 지지층을 상기 기판의 상면으로부터 공중 부유시키는, 공중 부유 단계;를 포함하는, 이종접합 나노와이어 구조체 제조 방법
10 10
제 9 항에 있어서,상기 금속층은 적어도 둘 이상의 금속을 포함하고,상기 둘 이상의 금속 중 하나는 접착층인, 이종접합 나노와이어 구조체 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.