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기판 상에 절연성 유기물질 용액을 도포하여 초박막 기판을 형성시키는 단계;상기 기판 상에 금속 나노입자를 코팅하는 단계;상기 금속 나노입자 상에 레이저를 조사하여 제1 패터닝을 수행하는 단계;상기 제1 패터닝 후에 절연성 유기물질을 이용하여 제1 전기적 절연층을 형성시키는 단계;상기 기판 상에 통로인 적어도 하나 이상의 비아홀(Vertical Interconnect access, VIA)를 형성시키는 단계;레이저 광을 이용하여 금속 나노입자 코팅 및 금속 나노와이어 제2 패터닝을 수행하는 단계; 및상기 제2 패터닝 이후에 절연성 유기물질 용액을 코팅 및 경화하여 제2 전기적 절연층을 형성시키는 단계;를 포함하여 발열 히터를 제조하고,상기 발열 히터의 특정 영역 상에 열변색성 수지를 코팅하는 단계;를 더 포함하는, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 절연성 유기물질 용액의 도포는 스프레이 방식 또는 스핀 코팅 방식으로 수행되는, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법
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제 1 항에 있어서,제2 전기적 절연층을 형성한 후에 금속 나노와이어를 추가 패터닝 하여 신호 입력단자를 형성시키는 것인,다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 비아홀(Vertical Interconnect access, VIA)은, 지면에 대해서, 수직 방향으로 형성되는, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이 제조방법
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적어도 일면에 절연성 유기물질 도포층을 포함하는 기판; 및상기 기판의 적어도 일면에 은 나노와이어가 패터닝되고 적어도 일부에 수직 관통홀(vertical through hole)이 형성되는 복수의 패턴층;을 포함하고,상기 패턴층은 상기 관통홀을 통하여 상호 전기적으로 연결되는 구조를 포함하고, 상기 패턴층은 표면이 불균일한 모폴로지로 형성되는 것인, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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제 5 항에 있어서,상기 은 나노와이어는 은 나노입자 패턴 상에 형성되는 것인, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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제5항에 있어서,상기 복수의 패턴층 상에 형성되는 열변색성 수지층을 더 포함하는 것인, 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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제5항에 있어서,상기 초박막 히터는 0
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제5항에 있어서,상기 표면이 불균일한 모폴로지는 수 nm 내지 수십 nm 크기로 형성된 돌기들을 포함하는 것인, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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제5항에 있어서,상기 수직 관통홀의 중앙에는 둔덕이 형성되는 것인, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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11
제5항에 있어서,상기 수직 관통홀의 측벽은 매끄럽지 않은 표면이 형성되는 것인, 다층 구조의 초박막 히터를 포함하는 디스플레이
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제5항에 따른 디스플레이를 포함하는 웨어러블 소자, 유연 전자 소자, 또는 바이오 소자에서 선택되는 디바이스
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