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대면적 심리스 마스터(seamless master)로서,베이스로서의 기판; 및상기 기판 상에 서로 접하도록 정렬되는 복수의 유닛 패턴 마스크를 포함하고,상기 유닛 패턴 마스크는 복수의 피처(feature)를 갖고, 제 1 형상 및 제 1 형상 주위를 둘러싼 복수의 제 2 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 대면적 심리스 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 유닛 패턴 마스크의 제 1 형상 및 제 2 형상은 각각 일정한 크기의 정사각형 또는 직사각형 형상으로 형성되며, 제 1 형상은 제 2 형상보다 큰 것을 특징으로 하는,대면적 심리스 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 유닛 패턴 마스크의 제 1 형상 및 제 2 형상은 서로간에 접하도록 형성되며, 복수의 제 2 형상은 서로간에 접하거나 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는,대면적 심리스 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 정렬되는 각각의 유닛 패턴 마스크의 제 2 형상은 제 1 형상 주위에 동일한 패턴으로 반복되어 형성되는 것을 특징으로 하는,대면적 심리스 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 기판 상에 x-축 또는 y-축의 양 방향으로 반복하여 정렬되는 복수의 유닛 패턴 마스크의 복수의 제 2 형상이 서로간 맞물리는 것을 특징으로 하는, 대면적 심리스 마스터
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대면적 심리스 마스터를 제조하는 방법으로서,베이스로서의 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 제 1 형상 마스크를 형성하는 단계;상기 제 1 형상 마스크 주위에 복수의 제 2 형상 마스크를 부착하여 유닛 패턴 마스크를 제작하는 단계- 각각의 제 2 형상은 제 1 형상보다 작으며, 서로간에 접하거나 이격되도록 형성됨 -; 및상기 기판 상에 복수의 유닛 패턴 마스크를 정렬하는 단계를 포함하는 대면적 심리스 마스터 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 기판 상에 x-축 또는 y-축의 양 방향으로 복수의 유닛 패턴 마스크들을 정렬 시 상기 복수의 유닛 패턴 마스크의 복수의 제 2 형상이 서로간 맞물리도록 정렬시키는 것을 포함하는, 대면적 심리스 마스터 제조방법
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대면적 심리스 마스터로서, 제 6 항 또는 제 7 항에 의한 대면적 심리스 마스터 제조방법에 의해 제조된 대면적 심리스 마스터
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