| 1 |
1
기판;상기 기판 상에 형성된 전극층; 및상기 기판 상에 적층되며, 상기 전극층과 연결되는 한 쌍의 센싱 소자를 포함하고,상기 전극층을 통해 인가되어 한 쌍의 상기 센싱 소자에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대 방향인 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,한 쌍의 상기 센싱 소자 중 제1 소자에 흐르는 전류의 방향은 인가되는 자기장의 방향과 반대 방향이고, 한 쌍의 상기 센싱 소자 중 제2 소자에 흐르는 전류의 방향은 인가되는 자기장의 방향과 동일한 방향인 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 전극층은,전류원과 연결되는 제1 전극부;상기 제1 전극부로부터 서로 반대 방향으로 분기되어, 각각 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자의 일 단부와 연결되는 한 쌍의 제2 전극부;상기 제1 소자의 양 측단부와 연결되고, 상기 제2 전극부와 수직한 방향으로 연장되는 한 쌍의 제1 소자 측 제3 전극부; 및상기 제2 소자의 양 측단부와 연결되고, 상기 제2 전극부와 수직한 방향으로 연장되는 한 쌍의 제2 소자 측 제3 전극부를 포함하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 4 |
4
청구항 3에 있어서,상기 전극층은,각각 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자의 타 단부와 연결되고, 그라운드(ground)와 연결되는 한 쌍의 제4 전극부를 더 포함하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 5 |
5
청구항 3에 있어서,상기 제1 소자 및 상기 제2 소자 각각은 중금속층(Heavy metal), 강자성층(Ferromagnet metal), 산화물층(Oxide) 및 커버층(Capping layer)이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 6 |
6
청구항 3에 있어서,상기 제1 전극부를 통해 인가되는 전류는 상기 제1 소자에 연결된 제2 전극부 및 상기 제2 소자에 연결된 제2 전극부로 분기되어, 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자에 서로 반대 방향의 전류가 흐르는 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 7 |
7
청구항 3에 있어서,한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압 및 한 쌍의 상기 제2 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압을 동시에 측정 가능한 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 8 |
8
청구항 3에 있어서,한 쌍의 상기 제2 전극부는 각각 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자의 일 단부와 면접하는 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서,한 쌍의 상기 제2 전극부는 각각 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자를 구성하는 강자성층(Ferromagnet metal)에 면접하는 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 10 |
10
청구항 8에 있어서,한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부는 상기 제1 소자의 양 측단부와 면접하고,한 쌍의 상기 제2 소자 측 제3 전극부는 상기 제2 소자의 양 측단부와 면접하는 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 11 |
11
기판;상기 기판 상에 형성된 전극층; 및상기 전극층 상에 적층되는 한 쌍의 센싱 소자를 포함하고,상기 전극층을 통해 인가되어 한 쌍의 상기 센싱 소자에 흐르는 전류의 방향은 서로 반대 방향인 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,한 쌍의 상기 센싱 소자 중 제1 소자에 흐르는 전류의 방향은 인가되는 자기장의 방향과 반대 방향이고, 한 쌍의 상기 센싱 소자 중 제2 소자에 흐르는 전류의 방향은 인가되는 자기장의 방향과 동일한 방향인 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 13 |
13
청구항 12에 있어서,상기 전극층은,전류원과 연결되는 제1 전극부;상기 제1 전극부로부터 서로 반대 방향으로 분기되는 한 쌍의 제2 전극부;한 쌍의 제2 전극부 중 상기 제1 소자 측 제2 전극부로부터 수직한 양 방향으로 연장되는 한 쌍의 제1 소자 측 제3 전극부; 및한 쌍의 제2 전극부 중 상기 제2 소자 측 제2 전극부로부터 수직한 양 방향으로 연장되는 한 쌍의 제2 소자 측 제3 전극부를 포함하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 14 |
14
청구항 13에 있어서,상기 제1 소자 및 상기 제2 소자 각각은 중금속층(Heavy metal), 강자성층(Ferromagnet metal), 산화물층(Oxide) 및 커버층(Capping layer)이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 15 |
15
청구항 13에 있어서,한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압 및 한 쌍의 상기 제2 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압을 동시에 측정 가능한 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 16 |
16
청구항 13에 있어서,상기 제1 소자는 상기 제1 소자 측 제2 전극부 및 한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부가 교차되는 영역 상에 적층되고,상기 제2 소자는 상기 제2 소자 측 제2 전극부 및 한 쌍의 상기 제2 소자 측 제3 전극부가 교차되는 영역 상에 적층되는 것을 특징으로 하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서
|
| 17 |
17
청구항 3 또는 청구항 13의 스핀 오빗 토크 기반 자기 센서의 상기 제2 전극부와 나란한 일 방향으로 자기장 인가시, 한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압 및 한 쌍의 상기 제2 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압을 측정하는 단계; 및한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압 및 한 쌍의 상기 제1 소자 측 제3 전극부의 양단 간 전압의 차이를 산출하는 단계를 포함하는,스핀 오빗 토크 기반 자기 센서를 이용한 자기장 측정 방법
|
