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압축 효과를 이용한 압력 센서

  • 기술번호 : KST2023009001
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 기판; 상기 기판 위에 형성되는 하나 이상의 전극; 상기 기판 위에 형성되고, 압전효과(Piezoelectric effect)를 발생시키는 제 1 압전물질로 구성되는 박막층; 및 상기 박막층 위에 적층되고, 압전효과를 발생시키는 제 2 압전물질로 구성되며, 복수개의 나노구조체를 포함하는 나노구조체층;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01L 1/18 (2006.01.01) G01L 1/22 (2006.01.01) G01B 7/16 (2006.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01)
CPC G01L 1/18(2013.01) G01L 1/2287(2013.01) G01B 7/18(2013.01) B82Y 15/00(2013.01)
출원번호/일자 1020220042939 (2022.04.06)
출원인 충남대학교산학협력단, 충남대학교병원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0143824 (2023.10.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.04.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 충남대학교병원 대한민국 대전광역시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이가원 대전광역시 유성구
2 지성주 대전광역시 서구
3 이희덕 대전광역시 서구
4 안재혁 대전광역시 서구
5 김기남 경기도 의왕시 갈미
6 정준교 충청북도 청주시 서원구
7 성재영 대전광역시 유성구
8 고운산 대전광역시 유성구
9 변준호 대전광역시 서구
10 이도연 세종특별자치시 남

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호(문정동, 에이치비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 김재문 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, 에이치비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2022-0368897-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2022.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2022.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2022-0598383-26
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2022.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2022-0791055-94
5 보정요구서
Request for Amendment		 2022.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2022-0115012-57
6 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2022.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2022-0829534-87
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 형성되는 하나 이상의 전극;상기 기판 위에 형성되고, 압전효과(Piezoelectric effect)를 발생시키는 제 1 압전물질로 구성되는 박막층; 및상기 박막층 위에 적층되고, 압전효과를 발생시키는 제 2 압전물질로 구성되며, 복수개의 나노구조체를 포함하는 나노구조체층;을 포함하는 압력 센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 박막층은,제 1 압전물질이 ZnO인 것을 특징으로 하는 압력 센서
3 3
제 1 항에 있어서,상기 나노구조체층은,나노구조체가 나노로드(nanorod)인 것을 특징으로 하는 압력 센서
4 4
제 3 항에 있어서,상기 나노구조체층은,제 2 압전물질이 ZnO인 것을 특징으로 하는 압력 센서
5 5
제 1 항에 있어서,상기 나노구조체층은,단면적이 상기 박막층의 단면적에 비해 작아 힘의 전달 면적을 감소시키는 것을 특징으로 하는 압력 센서
6 6
제 1 항에 있어서,상기 전극은,상기 기판 위에 3개가 형성되어, 전기적 제어 및 증폭이 가능한 3단자 센서 소자로 구성되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 충남대학교 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) Universal memory 지향의 플래시메모리소자 기반 6T NVSRAM 개발 연구