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수직 정렬된 탄소나노튜브로 이루어진 나노다공성 멤버레인; 및상기 멤버레인의 상측에 위치하고, 상기 멤버레인에 액체를 주입하거나 주입된 액체를 제거할 수 있도록 하는 통로를 구비한 투명 고분자 기반 유체 채널;을 포함하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사 장치
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 기능성 코팅된 것을 특징으로 하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사 장치
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제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브의 기능성 코팅에 의해, 연속적인 액체의 주입 및 제거에도 나노다공성 구조가 강건하게 유지되는 것을 특징으로 하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사 장치
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제1항에 있어서, 상기 멤버레인의 나노다공성 구조로 주입된 액체는 마이크로 스케일에서 강한 모세관력을 형성하여 피킹(picking) 공정의 수율을 향상키고, 상기 나노다공성 물질의 낮은 접촉면적은 표면의 점착성을 낮게 형성하여 플레이싱(placing) 단계의 수율을 향상시키는 것을 특징으로 하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사 장치
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반경방향으로 정렬된 탄소나노튜브가 형성하는 나노다공성 멤버레인으로 이루어진 외부 원통부재;상기 외부 원통부재의 내부에 구비되고 상기 멤버레인에 액체를 주입하거 주입된 액체를 제거할 수 있도록 하는 통로를 구비한 고분자 재질의 중간 원통부재; 및 상기 중간 원통부재의 내측에 구비되고 상기 멤버레인에 주입되는 액체를 수용하는 내부 원통부재;를 포함하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사를 위한 롤형 장치
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제5항에 있어서, 상기 내부 원통부재의 길이방향 일측에는 상기 내부 원통부재 내부로 액체를 주입하는 주입구가 구비되고, 상기 내부 원통부재의 길이방향 타측에는 상기 내부 원통부재 내부에서 외부로 액체가 배출되는 배출구가 구비되는 것을 특징으로 하는 모세관 힘 기반 마이크로 요소 전사를 위한 롤형 장치
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액체가 통과하는 유로를 구비한 복수 개의 고분자 기반의 유체채널층을 본딩하여 채널부를 제조하는 1단계;수직 정렬된 탄소나노튜브로 이루어진 나노다공성 멤버레인를 준비하는 2단계; 및상기 채널부 일측면에 나노다공성 멤버레인을 전사하여 결합하는 3단계;를 포함하여, 상기 채널부를 통해 상기 멤버레인에 액체를 주입하거나 주입된 액체를 제거함으로써 마이크로 요소를 전사하는 전사 장치의 제조방법
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레이저 패터닝으로 폴리이미드 필름에 액체가 통과하는 유로를 형성하는 1단계;수직 정렬된 탄소나노튜브로 이루어진 나노다공성 멤버레인를 준비하는 2단계; 및유로가 형성된 상기 폴리이미드 필름의 일측면에 나노다공성 멤버레인을 전사하여 결합하는 3단계;를 포함하여, 상기 폴리이미드 필름의 유로를 통해 상기 멤버레인에 액체를 주입하거나 주입된 액체를 제거함으로써 마이크로 요소를 전사하는 전사 장치의 제조방법
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