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도전성 박막의 저항 균일성을 측정하기 위한 장치에 있어서, 기판;상기 기판의 전면에 형성되며 전압 측정용으로 사용하기 위한 다수의 전압 측정용 전극;상기 기판의 전면에 형성되며 상기 전압 측정용 전극의 전원 공급용으로 사용하기 위한 둘 이상의 전원 공급용 전극;상기 기판의 전면에 형성된 전극들과 상기 도전성 박막의 전극을 압력을 가하여 접촉시키는 가압롤러;상기 전압 측정용 전극에 연결되어 전압을 측정하는 전압 측정 장치; 및 상기 전원 공급용 전극에 연결되어 전원을 공급하는 전원 공급 장치;를 포함하고, 상기 전압 측정용 전극의 전압을 측정하여 도전성 박막의 전기적 특성을 검사하는 저항 균일성 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 전압 측정용 및 전원 공급용 전극은 선모양인 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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제2항에 있어서, 상기 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극은 기판의 전면에 이격되어 평행하게 형성되는 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가압롤러는 상기 전극의 형성 방향과 평행한 방향으로 이동하면서 상기 기판을 연속적으로 가압하는 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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제4항에 있어서, 상기 가압롤러는 가압시 기판에 이격되어 형성된 상기 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극 모두를 동시에 가압하는 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전압 측정 장치는 입력된 전압값을 도표화하여 표시하는 출력장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전원 공급용 전극의 단면적은 상기 전압 측정용 전극에 비해 넓은 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 장치
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(S1) 다수의 전극이 형성된 기판을 제공하는 단계;(S2) 기판에 형성된 전극과 측정 대상 도전성 박막의 전극이 마주보도록 상기 기판에 도전성 박막을 배치하는 단계;(S3) 상기 기판에 형성된 전극과 도전성 박막의 전극이 접촉하도록 가압롤러로 가압하는 단계;(S4) 상기 기판의 전면에 형성된 전극에 전원 공급 장치를 통해 전원을 공급하는 단계;(S5) 상기 가압롤러가 압력을 유지하며 상기 전극의 한쪽 말단인 이송 시작점에서 상기 전극의 다른 말단인 이송 종료점까지 이송되는 단계; 및 (S6) 상기 기판에 형성된 각의 전극에 대한 전압이 측정되는 단계;를 포함하며, 상기 기판에 형성된 전극을 통해 전원이 공급되며 상기 가압롤러의 가압으로 인해 상기 기판과 상기 도전성 박막이 전기적으로 연결되는 것인 도전성 박막의 저항 균일성 측정 방법
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제8항에 있어서, (S6)의 전압을 측정하는 단계는 롤러가 가압을 유지하며 이송됨에 따라 각 전극에서 전압이 연속적으로 측정되는 것을 특징으로 하는 것인, 저항 균일성 측정 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 (S1) 단계에서의 전극은 전압 측정용 전극 및 전원 공급용 전극으로 이루어지는 것인, 저항 균일성 측정 방법
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제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 (S1) 단계에서의 전극은 선모양인 것으로 각 전극이 서로 평행하게 이격되어 형성되는 것인, 저항 균일성 측정 방법
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