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도입희망기술

3차원 초미세 내/외부 결함 검사를 위한 광음파 융합 현미경 기술 개발

  • 기술번호 : 362634-20210003
  • 담당센터(부서) : 경기혁신센터
  • 담당팀 : 기술혁신1팀
  • 전화번호 : 031-8006-1581

도입희망 기술개요

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기술명 3차원 초미세 내/외부 결함 검사를 위한 광음파 융합 현미경 기술 개발
업종분류 (27213) 물질 검사, 측정 및 분석기구 제조업
기술분류 (ED0104) 광계측/제어기기
IPC 코드 (G01N-) 재료의 화학적 또는 물리적 성질의 검출에 의한 재료의 조사 또는 분석(면역분석 이외의 효소 또는 미생물을 포함하는 측정 또는 시험 방법 C12M, C12Q)
핵심키워드 광간섭기술,광음파기술
핵심키워드 (영문) Swept Wavelength,Interferometry
기술개요 - 신청사는 물질 측정 및 검사기기를 상용화하여 사업중이며 파장가변 레이저를 이용한 SS(Swept Source)-OCT 기술을 보유 중임.

- 신청사가 기술의 이전을 희망하는 3차원 초미세 내/외부 결함 검사를 위한 광음파 융합 현미경 기술은 광음파 영상기술과 광간섭기술을 융합하여 내/외부 영상이 동시에 획득 가능한 특징이 있음.

- 희망기술 도입시, 기존의 광간섭기술이 다양한 분야의 여러 시료를 대상으로 초미세 현미경 영상획득이 가능하지만, 물리적인 매질의 광산란(scattering) 및 가간섭성(coherence length)이 발생하는 한계를 극복 가능할 것으로 기대됨. 아울러, 반도체, 디스플레이, 조선철강 분야 등 비파괴기법으로 표면과 내부를 동시에 검사 가능한 기술 및 관련 분야에서 기술경쟁력을 확보할 수 있을 것으로 기대됨.
도입희망 금액 ***** 원
자체부담 가능금액 ***** 원

도입희망 상세내용

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