고온 고진공용 진공게이지
기술명 | 고온 고진공용 진공게이지 | ||
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업종분류 | (25924) 절삭가공 및 유사처리업 | 기술분류 | (F481) 반도체형 제조장비 |
IPC 코드 | (H01L-21/02) 반도체 장치; 다음의 유에 속하지 않는 전기적 고체 장치 | ||
핵심키워드 | 신호처리,열해석 | ||
핵심키워드 (영문) | signal,thermal analysis | ||
기술개요 |
- 통상 사용되는 고온 고진공의 진공게이지는 그 사용범위가 좁아 저진공용 게이지를 따로 설치해 사용하는 불편함이 있음.
- 이런 불편 및 중복 부품의 사용을 줄이기 위해 ATM-고진공에 사용 가능한 게이지를 제조코자 함. |
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도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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활용분야 | ***** | ||
사업화 계획 | ***** | ||
도입희망 유형 | ***** | ||
도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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