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IPC분류
PVD Backmetal Sputter
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 318311-20140002
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | PVD Backmetal Sputter | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (F481) 반도체형 제조장비 |
| IPC 코드 | (F99Z-99/00) 이 섹션 내에서 그밖에 분류되지 않는 주제사항 | ||
| 핵심키워드 | 반도체 ,스퍼터링 | ||
| 핵심키워드 (영문) | .,. | ||
| 기술개요 | 실리콘 웨이퍼 뒷면에 금속 박막을 증착하는 것으로 웨이퍼의 뒷면을 그라인드 한후 금속 박막을 증착함 | ||
| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
|
도입기술의 요구성능 |
***** | ||
|---|---|---|---|
| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
***** |
도입희망기술 영위기업 |
***** |
