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IPC분류
PFC GAS 또는 유독가스 제거기술 및 백연방지기술
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 282703-20140001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | PFC GAS 또는 유독가스 제거기술 및 백연방지기술 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29173) 산업용 송풍기 및 배기장치 제조업 | 기술분류 | (F000) 달리 분류되지 않는 기계 |
| IPC 코드 | (F01B-/) 기계 또는 기관, 일반 또는 용적형의 것, 예. 증기기관 | ||
| 핵심키워드 | 과불화화합물,불산가스제거 | ||
| 핵심키워드 (영문) | PFC GAS,HF GAS | ||
| 기술개요 |
- 신청기술은 반도체 제조공정에서 발생하는 PFC GAS의 처리과정에서 발생하는 2차 오염물질 제거기술임.
- 과불화화합물(PFC)은 1차 처리 후 HF를 포함한 2차 오염물질이 발생되어 2차 SCRUBBER로 최종 처리 후 대기로 배출하게 되는 데, 유독가스 제거 효율을 개선한 기술, 백연을 제거하는 기술, DUST(MIST) 제거 효율을 개선한 기술, 악취 제거 효율을 개선한 기술의 기능을 복합적으로 갖춘 장치를 도입하고자 함. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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