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IPC분류
반도체, OLED, LCD 공정에서 배출되는 PFC 계열 Gas 처리용 고온 히터
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 344887-20170001
- 담당센터(부서)
- : 서울동부혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- :
| 기술명 | 반도체, OLED, LCD 공정에서 배출되는 PFC 계열 Gas 처리용 고온 히터 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29199) 그 외 기타 일반목적용 기계 제조업 | 기술분류 | (EA0705) 대기오염방지설비 |
| IPC 코드 | (F23G-/) 화장로 연소에 의해 폐기물을 소각하는 것 | ||
| 핵심키워드 | 히터,과불화화합물 | ||
| 핵심키워드 (영문) | heater,PFC | ||
| 기술개요 | - 반도체 및 OLED, LCD 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 PFC계 가스(CF4, CHF3, C2F6, F2 등)를 처리하는 기존 방식 (Plasma, 직접 연소)보다 안정적이면서 유지비용, 초기투자비용이 낮은 고온(1500C) 히터를 적용한 간접 산화방식의 Gas Scrubber에 관한 기술. | ||
| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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