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IPC분류
내플라즈마성이 강화된 순수이트리아(Y2O3)세라믹 소결 및 제조
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 342545-20190001
- 담당센터(부서)
- : 대구혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신2팀
- 전화번호
- : 053-550-1463
| 기술명 | 내플라즈마성이 강화된 순수이트리아(Y2O3)세라믹 소결 및 제조 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (23999) 그 외 기타 분류 안된 비금속 광물제품 제조업 | 기술분류 | (EB0210) 고강도/열 기능재료 |
| IPC 코드 | (C04B-35/505) 석회; 마그네시아; 슬래그; 시멘트; 그 조성물, 예. 모르타르, 콘크리트 또는 유사한 건축재료; 인조석; 세라믹(실투유리세라믹 C03C 10/00); 내화물(내화 금속에 따른 합금 C22C); 천연석의 처리 | ||
| 핵심키워드 | 이트리아(Y2O3),내플라즈마성 | ||
| 핵심키워드 (영문) | Ytrria,plasma resistance | ||
| 기술개요 |
- 반도체 공정을 수행하기 위해서는 필수적으로 플라즈마 환경에 사용하는 가스를 주입해야만 하는데 이 노즐들은 플라즈마에 항상 노출 되어 필연적으로 파티클을 발생시키고 식각으로 사용수명이 존재하게 됨. 선폭이 좁아지고 점점 미세화 되어가는 반도체제조공정에서는 이를 획기적, 안정적으로 개선해야만 함.
- 동사가 새로 도입코자하는 설비의 기술적 보완이 이루어져야하여 세라믹 소결 및 제조에 관한 고순도 소결에 관한 기술적 노하우 등 전수가 필요함. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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