진공 ROBOT CONTROLLER 개발(MOTION 및 제어)
기술명 | 진공 ROBOT CONTROLLER 개발(MOTION 및 제어) | ||
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업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (F493) 체결용/ 기밀용 부품 |
IPC 코드 | (F16K-/) 밸브; 탭 콕 작동하는 플로트(float); 배기 또는 흡기장치 | ||
핵심키워드 | 진공로봇,로봇제어 | ||
핵심키워드 (영문) | vacuum robot,robot cobtrol | ||
기술개요 | 반도체 및 LCD진공장비에서 사용되는 반송 로봇 등을 제어하기 위한 제어 시스템 | ||
도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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활용분야 | ***** | ||
사업화 계획 | ***** | ||
도입희망 유형 | ***** | ||
도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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