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IPC분류
AMOLED용 고정세메탈마스크 증착 유기EL 제거기술
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 257580-20140001
- 담당센터(부서)
- : 대구혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 053-550-1450
| 기술명 | AMOLED용 고정세메탈마스크 증착 유기EL 제거기술 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29221) 전자 응용 절삭기계 제조업 | 기술분류 | (P714) 플라즈마 응용기술 |
| IPC 코드 | (B29C-59/14) 플라스틱의 성형 또는 접합; 가소 상태에 있는 물질의 성형 일반 성형품의 후처리, | ||
| 핵심키워드 | 유기발광다이오드,FMM | ||
| 핵심키워드 (영문) | OLED(Organic Light Emitting Diodes),Fine Metal Mask | ||
| 기술개요 |
○ AMOLED 장비 기술 로드맵을 분석하면 Backplane 장비 기술, OLED 형성 장비 기술, 장비 부품기술로 구분이 되어 있음. 당사에서 개발하고자 하는 OLED 화소 패턴 형성 기술 중에서 현재 주로 사용되고 진공증착 공정을 이용하는 FMM(Fine Metal Mask) 방식으로, R, G, B 화소 패턴을 형성하기 위하여 가장 일반적으로 사용되고 있으나, 마스크 처짐, 정렬, 세정 불량으로 인한 파티클 등의 문제로 인해 대형 AMOLED 제작에 적용되기 쉽지 않은 단점 및 소형 AMOLED의 불량률을 증가시키는 단점을 가지고 있음.
○ OLED 화소 패턴 형성 기술에서의 유기물 증착 Mask는 FMM과 Open Mask로 구분되며, 이와 같은 OLED Mask 유기물 세정방법은 현재 화학용액을 이용한 습식세정기술을 사용하고 있으며, 기존 습식공정에서의 화학용액 NMP (N-methylpyrrolidinone)는 작업자에 유해한 발암요소와 환경오염을 발생 요인이 됨. 또한 증착라인 별도의 대규모 습식세정공간이 필요하여 공간효율 저하 및 높은 투자비 유지비용의 문제점이 있음. ○ 개발수요기술은 OLED용 FMM 증착 유기물을 플라즈마(Plasma), 이온빔(Ion- Beam)등을 이용한 유기EL 건식제거 기술임. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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