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IPC분류
고온 고진공용 진공게이지
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 323712-20140001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신2팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | 고온 고진공용 진공게이지 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (25924) 절삭가공 및 유사처리업 | 기술분류 | (F481) 반도체형 제조장비 |
| IPC 코드 | (H01L-21/02) 반도체 장치; 다음의 유에 속하지 않는 전기적 고체 장치 | ||
| 핵심키워드 | 신호처리,열해석 | ||
| 핵심키워드 (영문) | signal,thermal analysis | ||
| 기술개요 |
- 통상 사용되는 고온 고진공의 진공게이지는 그 사용범위가 좁아 저진공용 게이지를 따로 설치해 사용하는 불편함이 있음.
- 이런 불편 및 중복 부품의 사용을 줄이기 위해 ATM-고진공에 사용 가능한 게이지를 제조코자 함. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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