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IPC분류
AL모재 Damage없이 Copper 오염물 제거 Chemical
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 387786-20180001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | AL모재 Damage없이 Copper 오염물 제거 Chemical | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (EB0603) 박막제조기술 |
| IPC 코드 | (H01L-/) 반도체 장치; 다음의 유에 속하지 않는 전기적 고체 장치 | ||
| 핵심키워드 | Aluminum,Copper | ||
| 핵심키워드 (영문) | .,. | ||
| 기술개요 |
Aluminum 재질 제품에 Copper 오염물이 증착되어 있음.
Aluminum에 Damage없이 Copper 오염물 제거 Chemical 개발 |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
|---|---|---|---|
| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
***** |
도입희망기술 영위기업 |
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