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IPC분류
나노 리소그래피 장치 및 스탬프 제조 방법
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 469900-20233001
- 담당센터(부서)
- : 부산혁신센터
- 담당팀
- :
- 전화번호
- :
| 기술명 | 나노 리소그래피 장치 및 스탬프 제조 방법 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (27213) 물질 검사, 측정 및 분석기구 제조업 | 기술분류 | (LC0401) 생체신호 측정/진단기기 |
| IPC 코드 | (A61B-/) 진단; 수술; 개인 식별(생물학적 재료의 분석 G01N 예 G01N 33/48; 광파 이외의 파를 이용한 기록의 작성 일반 G03B 42/00) | ||
| 핵심키워드 | 리소그래피,나노 리소그래피 | ||
| 핵심키워드 (영문) | lithography,nano lithography | ||
| 기술개요 |
- 스탬프를 이용한 임프린트 리소그래피 방법
- 기판위에 코팅된 레지스트 표면에 나노미터 수준의 패턴 형성 방법 |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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