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IPC분류
10mm Gap 대기압 플라즈마 및 30mm Gap 건식 초음파 세정기
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 394561-20170001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | 10mm Gap 대기압 플라즈마 및 30mm Gap 건식 초음파 세정기 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (EA0807) 정보산업장비 |
| IPC 코드 | (H01L-21/3065) 반도체 장치; 다음의 유에 속하지 않는 전기적 고체 장치 | ||
| 핵심키워드 | 대기 플라즈마,저온 플라즈마 | ||
| 핵심키워드 (영문) | atmospheric plasma,low temperature plasma | ||
| 기술개요 |
-현재의 대기압 플라즈마는 질소와 청정건조공기(CDA)를 공급한 상태에서 Power를 인가할 경우 3-5mm Gap에서 유기 세정이 가능함.
-건식 초음파 세정기는 유체 흐름에 따라 초음파가 발진하는 방식을 이용하여 건식으로 표면을 초음파 세정하는 장치임. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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