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IPC분류
광학적 검사장치를 이용한 미세결함의 크기 및 속성 검사방법
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 457284-20230001
- 담당센터(부서)
- : 대전혁신센터
- 담당팀
- :
- 전화번호
- :
| 기술명 | 광학적 검사장치를 이용한 미세결함의 크기 및 속성 검사방법 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (ED0209) 측정/검사장비 |
| IPC 코드 | (G01N-) 재료의 화학적 또는 물리적 성질의 검출에 의한 재료의 조사 또는 분석(면역분석 이외의 효소 또는 미생물을 포함하는 측정 또는 시험 방법 C12M, C12Q) | ||
| 핵심키워드 | 반도체 검사 장비,광학적 검사 장비 | ||
| 핵심키워드 (영문) | Semiconductor Inpsection Device,Optical Inpsection Device | ||
| 기술개요 | 반도체 생산시 결함을 측정 및 검사할수 있는 반도체 검사장비로 광학적 광원을 활용하여 미세 반도체의 결함 측정이 가능토록함 | ||
| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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