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IPC분류
FMM(정밀미세패턴 메탈마스크) 가공기술
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 350535-20140001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신2팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 |
FMM(정밀미세패턴 메탈마스크) 가공기술 |
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|---|---|---|---|
| 업종분류 | (26299) 그 외 기타 전자부품 제조업 | 기술분류 | (G640) 달리 분류되지 않는 미세공정 기술 |
| IPC 코드 | (C23C-/) 금속재료의 피복; 금속재료에 의한 피복재료; 표면에의 확산, 화학적전환 또는 치환에 의한 금속재료의 표면처리 진공증착,스퍼터링, 이온주입법 또는 화학증착에 의한 피복일반 | ||
| 핵심키워드 | 메탈마스크,에칭 | ||
| 핵심키워드 (영문) | OMM,FMM | ||
| 기술개요 |
- 신청기술은 PR(Photo Resist)인쇄 방식에 의한 FMM(Fine Micro pattern Metal Mask) 가공기술에 대한 것임.
- 신청사는 LCD, LED, OLED 등의 제조시에 사용되는 증착마스크를 제조하는 기업으로, 종래에는 DFR방식을 사용하여, 식각의 한계로 인한 정밀 패턴 구현, 대면적 마스크(5세대 이상) 제작에 어려움이 있음. - 이러한 문제를 해결하기 위해 PR인쇄 방식의 마스크가공기술을 희망하고 있으며, 아울러 정밀가공이 가능하면서도 치수변형이 없는 필름(플라스틱)마스크 기술도입을 희망하고 있음. |
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| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
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| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
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도입희망기술 영위기업 |
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