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IPC분류
고체 전구체용 캐니스터/버블러와 고체 소스 공급장치
도입희망 기술개요
- 관리번호
- : 326950-20140001
- 담당센터(부서)
- : 경기혁신센터
- 담당팀
- : 기술혁신1팀
- 전화번호
- : 031-8006-1570
| 기술명 | 고체 전구체용 캐니스터/버블러와 고체 소스 공급장치 | ||
|---|---|---|---|
| 업종분류 | (29271) 반도체 제조용 기계 제조업 | 기술분류 | (F85) 용접 조립 가공 기술 |
| IPC 코드 | (G21F-9/22) X선, 감마(gamma)선, 미립자선 또는 입자충격에 대한 보호; 오염제거장치 방사능오염물의 처리 | ||
| 핵심키워드 | 케니스터,버블러 | ||
| 핵심키워드 (영문) | canister,bubbler | ||
| 기술개요 | - 반도체, LED 제조 공정에 사용되는 저장 및 공급장치로, 고체상의 전구체를 기화시켜 기상증착을 통해 미세 박막을 형성하는 공정에 사용되는 전구체 운반 및 기화용 용기 | ||
| 도입희망 금액 | ***** 원 | 자체부담 가능금액 | ***** 원 |
도입희망 상세내용
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도입기술의 요구성능 |
***** | ||
|---|---|---|---|
| 활용분야 | ***** | ||
| 사업화 계획 | ***** | ||
| 도입희망 유형 | ***** | ||
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도입희망기술 관련제품 |
***** |
도입희망기술 영위기업 |
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