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마크 분할 검사 방법

  • 기술번호 : KST2014000859
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마크 분할 검사 방법에 관한 것으로서, 기준 영상과 검사 영상을 각각 취득하고, 기준 영상과 검사 영상에 대해 문자 단위의 상관도를 구한 후, 상관도 값과 기설정된 제1 임계값을 비교한다. 다음으로, 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하고, 분할한 영역별로 기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이와 기설정된 제2 임계값을 비교한다. 여기서, 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이가 제2 임계값보다 큰 경우 검사 영상을 불량으로 판단하고, 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이가 제2 임계값보다 작은 경우, 검사 영상을 정상으로 판단함으로써, 불량의 정도가 작은 마크라 할지라도 그 불량 여부를 정밀히 판단해 낼 수 있는 마크 분할 검사 방법이 개시된다. 마크, 반도체 패키지, 상관도, 분할, 불량, 검출
Int. CL H01L 23/544 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020080027802 (2008.03.26)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0940301-0000 (2010.01.27)
공개번호/일자 10-2009-0102387 (2009.09.30) 문서열기
공고번호/일자 (20100205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주효남 미국 충남 천안시
2 이정섭 대한민국 서울시 동작구
3 류근호 대한민국 충남 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0218610-11
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0760271-50
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.11.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0062568-19
5 등록결정서
Decision to grant		 2010.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0033231-87
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마크의 불량 여부를 판정하기 위한 기준이 되는 기준 영상을 취득하는 단계; 마크의 불량 여부를 판정할 검사 영상을 취득하는 단계; 상기 기준 영상과 검사 영상에 대해 문자 단위의 상관도를 구한 후, 상기 상관도 값과 기설정된 제1 임계값을 비교하는 단계; 상기 상관도 값이 제1 임계값보다 큰 경우, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하는 단계; 및 상기 분할한 영역별로 기준 영상과 검사 영상의 상관도를 구한 후, 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이와 기설정된 제2 임계값을 비교하여 검사 영상의 불량 여부를 판정하는 단계를 포함하여 이루어지는 마크 분할 검사 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 상관도 값이 제1 임계값보다 작은 경우, 상기 검사 영상을 불량으로 판단하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 마크 분할 검사 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 해당 문자를 일정한 개수의 영역으로 분할하는 단계는, 상기 해당 문자를 4개의 영역으로 분할하는 것을 특징으로 하는 마크 분할 검사 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이와 제2 임계값을 비교하여 검사 영상의 불량 여부를 판정하는 단계는, 상기 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이가 제2 임계값보다 큰 경우, 상기 검사 영상을 불량으로 판단하는 것을 특징으로 하는 마크 분할 검사 방법
5 5
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이와 제2 임계값을 비교하여 검사 영상의 불량 여부를 판정하는 단계는, 상기 상관도의 최대 값 및 최소 값의 차이가 제2 임계값보다 작은 경우, 상기 검사 영상을 정상으로 판단하는 것을 특징으로 하는 마크 분할 검사 방법
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1 US2009245620 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8005291 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 호서대학교 산학협력단 지방기술혁신사업 수지얼룩 고속 검사 모듈 및 로봇 모션 제어기 개발