1 |
1
수직 자기 이방성 다층박막에 있어서,Pt/CoFeSiB 층이 수직으로 둘 이상 적층되어 이루어지는 수직 자기 이방성 다층박막
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 CoFeSiB층은 Co70
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 다층박막은 동일한 두께의 Pt/CoFeSiB 층이 적층되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 Pt/CoFeSiB 층이 수직방향으로 두개 내지 열개가 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
|
5 |
5
제4항에 있어서,상기 Pt/CoFeSiB 층이 수직방향으로 세개 또는 네개가 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층박막
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 다층박막의 보자력이 20 Oe 이하임을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층 박막
|
7 |
7
제1항에 있어서,상기 다층박막에서 Pt 두께가 8 Angstrom 인 경우 CoFeSiB의 두께가 3 Angstrom이하인 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층 박막
|
8 |
8
제1항에 있어서,상기 다층박막에서 CoFeSiB 두께가 3 Angstrom인 경우 Pt의 두께가 14 Angstrom 이상인 것을 특징으로 하는 수직 자기 이방성 다층 박막
|
9 |
9
비자성 사이층(터널배리어)으로 분리되어 있는 자유층과 고정층을 포함하는 자기 터널 접합 구조에 있어서,상기 자유층은 Pt/CoFeSiB 층이 수직으로 둘 이상 적층되어 이루어지는 수직 자기 이방성 다층박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
10 |
10
제9항에 있어서, 상기 CoFeSiB층은 Co70
|
11 |
11
제9항에 있어서,상기 다층박막은 동일한 두께의 Pt/CoFeSiB 층이 적층되는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
12 |
12
제9항에 있어서,상기 Pt/CoFeSiB 층이 수직방향으로 두개 내지 열개가 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
13 |
13
제12항에 있어서,상기 Pt/CoFeSiB 층이 수직방향으로 세개 또는 네개가 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
14 |
14
제9항에 있어서,상기 다층박막의 보자력이 20 Oe 이하임을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
15 |
15
제9항에 있어서,상기 다층박막에서 Pt 두께가 8 Angstrom 인 경우 CoFeSiB의 두께가 3 Angstrom이하인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|
16 |
16
제9항에 있어서,상기 다층박막에서 CoFeSiB 두께가 3 Angstrom인 경우 Pt의 두께가 14 Angstrom 이상인 것을 특징으로 하는 자기 터널 접합
|